一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法技術(shù)領(lǐng)域1.本技術(shù)涉及化學(xué)蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。背景技術(shù)：2.目前，電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜，以便后續(xù)給電子器件可控通電。該ito膜通常通過(guò)化學(xué)蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中，對(duì)于多晶ito(p-ito)材料，所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低，但其蝕刻速度快，蝕刻的角度難以控制，且容易對(duì)ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：3.有鑒于此，為克服目前存在的技術(shù)難題，本技術(shù)提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。4.具體地，本技術(shù)首先方面提供了一種ito蝕刻液，所述ito蝕刻液包括以下重量份數(shù)的各組分：20-22份的鹽酸，6-7份的硝酸，0.5-3份的酸抑制劑，0.5-3份的表面活性劑，以及水；其中，所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種；所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過(guò)對(duì)蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進(jìn)行精確限定，以實(shí)現(xiàn)了對(duì)王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調(diào)控，并在一定程度上實(shí)現(xiàn)了對(duì)蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35蝕刻液用在哪些工藝段上；京東方用的蝕刻液蝕刻液生產(chǎn)

可用于銀鎳合金、銀銅合金以及純銀的蝕刻，蝕刻后板面平整光滑。劑對(duì)油墨沒(méi)有影響，可用于花紋蝕刻處理。三、使用方法：1、原液使用，不須加水，操作溫度可以是25℃-60℃，溫度越高，速度越快。2、將銀板浸泡在銀蝕刻劑中。用軟毛刷來(lái)回輕輕刷動(dòng)，使藥水與銀充分均勻反應(yīng)；或者也可以用搖床，使藥水來(lái)回動(dòng)運(yùn)，使板蝕刻速度加快。但不能超聲波，以免破壞（感光）油墨。參考數(shù)據(jù)：50℃→5分鐘→0.1毫米深度。30℃→20分鐘→0.1毫米深度。3、水洗后做后續(xù)處理。南京天馬用的蝕刻液蝕刻液私人定做BOE蝕刻液的生產(chǎn)廠家。

    因此存在開(kāi)發(fā)蝕刻液組合物時(shí)會(huì)過(guò)度耗費(fèi)時(shí)間和費(fèi)用的問(wèn)題。美國(guó)公開(kāi)**第2號(hào)公開(kāi)了在3dnand閃存的制造工序中，對(duì)于硅氧化物膜和硅氮化物膜*選擇性蝕刻硅氮化物膜的蝕刻液組合物。然而，為了選擇構(gòu)成成分的種類和濃度，不得不需要測(cè)試蝕刻液組合物的蝕刻性能，實(shí)際情況是，與上述同樣，仍然沒(méi)有解決在找尋蝕刻液組合物的適宜組成方面過(guò)度耗費(fèi)時(shí)間和費(fèi)用的問(wèn)題。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)**文獻(xiàn)**文獻(xiàn)1：美國(guó)公開(kāi)**第2號(hào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：所要解決的課題本發(fā)明是為了改善上述以往技術(shù)問(wèn)題的發(fā)明，其目的在于，提供用于選擇硅烷系偶聯(lián)劑的參數(shù)以及包含由此獲得的硅烷系偶聯(lián)劑的蝕刻液組合物，所述硅烷系偶聯(lián)劑作為添加劑即使不進(jìn)行另外的實(shí)驗(yàn)確認(rèn)也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力。此外，本發(fā)明的目的在于，提供一種以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能夠*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征的蝕刻液組合物。此外，本發(fā)明的目的在于，提供利用上述蝕刻液組合物的蝕刻方法。此外，本發(fā)明的目的在于，提供選擇上述蝕刻液組合物所包含的硅烷系偶聯(lián)劑的方法。解決課題的方法為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種蝕刻液組合物，其特征在于，包含磷酸、硅烷。

    內(nèi)部頂部?jī)蓚?cè)的震蕩彈簧件14，震蕩彈簧件14頂端的運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13，運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13頂端的控制面板15，內(nèi)部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)的攪動(dòng)孔17共同組合而成，由于鹽酸硝酸具有較強(qiáng)的腐蝕性，常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕，影響蝕刻液的質(zhì)量，用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進(jìn)行攪拌，成本過(guò)高，且混合的效果不好，通過(guò)設(shè)置高效攪拌裝置2，該裝置通過(guò)運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12，使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動(dòng)高效攪拌裝置2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)搖勻，同時(shí)設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過(guò)驅(qū)動(dòng)對(duì)高效攪拌裝置2進(jìn)行震蕩搖勻，高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過(guò)內(nèi)置的致密防腐桿16，致密防腐桿16內(nèi)部的攪動(dòng)孔17能夠使蝕刻液不斷細(xì)化均勻化，從而很好的防止了蝕刻液的腐蝕，且成本低廉，攪拌均勻效果較好。推薦的，注入量精確調(diào)配裝置是由鹽酸裝罐7內(nèi)部一側(cè)的嵌入引流口22，嵌入引流口22一端的負(fù)壓引流器21，負(fù)壓引流器21一端的注入量控制容器18，注入量控制容器18內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)的注入量觀察刻度線19和注入量控制容器18一側(cè)的限流銷20共同組合而成，現(xiàn)有的制備裝置無(wú)法對(duì)相關(guān)原料的注入量進(jìn)行精確控制，無(wú)法很好的保證蝕刻液制備的純度，通過(guò)設(shè)置注入量精確調(diào)配裝置。蝕刻液蝕刻后如何判斷好壞 ？

    內(nèi)嵌觀察窗402通過(guò)觀察窗翻折滾輪401內(nèi)嵌入裝置內(nèi)部，工作人員可通過(guò)內(nèi)嵌的透明窗對(duì)內(nèi)部的制備狀況進(jìn)行實(shí)時(shí)查看，從而很好的體現(xiàn)了該裝置的實(shí)時(shí)性。推薦的，鹽酸裝罐7的頂端嵌入連接有熱水流入漏斗9，在進(jìn)行制備時(shí)需要向鹽酸裝罐7內(nèi)倒入一定比例的熱水進(jìn)行均勻調(diào)和，由于熱水與鹽酸接觸會(huì)產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng)，濺出容易傷害工作人員，通過(guò)設(shè)置熱水流入漏斗9，工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內(nèi)，從而很好的減小了發(fā)生反應(yīng)的劇烈程度，很好的起到了保護(hù)作用。推薦的，裝置底座5的內(nèi)部?jī)蓚?cè)緊密焊接有加固支架10，由于制備裝置為一體化裝置，承載設(shè)備較多，質(zhì)量較重，對(duì)底座會(huì)產(chǎn)生較大的壓力，通過(guò)設(shè)置加固支架10，加固支架10為連接在兩側(cè)底座支柱的三角結(jié)構(gòu)，利用三角結(jié)構(gòu)穩(wěn)定原理對(duì)裝置底座5起到了很好的加固效果。推薦的，制備裝置主體1的兩端緊密貼合有防燙隔膜11，由于制備裝置在進(jìn)行制備時(shí)會(huì)發(fā)***熱反應(yīng)，使得裝置外殼穩(wěn)定較高，工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險(xiǎn)，通過(guò)設(shè)置防燙隔膜11，防燙隔膜11為很好的隔熱塑膠材料，能夠很好的防止工作人員被燙傷，很好的體現(xiàn)了該裝置的防燙性。推薦的，高效攪拌裝置2是由內(nèi)部頂部中間部位的旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12。剝離液是用于光刻膠剝離用的化學(xué)品。南京天馬用的蝕刻液蝕刻液私人定做

蝕刻液可以蝕刻什么樣的金屬；京東方用的蝕刻液蝕刻液生產(chǎn)

    本實(shí)用新型涉及一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備。背景技術(shù)：鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備主要包括混合罐、過(guò)濾器和儲(chǔ)存罐，將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻，由過(guò)濾器濾去雜質(zhì)后投入儲(chǔ)存罐中暫存，然后分裝銷售。以往，鋁蝕刻液的分裝由人工操作，隨著自動(dòng)化技術(shù)的興起，全自動(dòng)灌裝線在鋁蝕刻液生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng)用，但是，我司的鋁蝕刻液生產(chǎn)車間面積較小，無(wú)法放置自動(dòng)灌裝線，所以需要對(duì)現(xiàn)有的生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行改造，以實(shí)現(xiàn)鋁蝕刻液的全自動(dòng)灌裝。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型提出了一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。為達(dá)前述目的，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案如下：鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備，包括混合罐、過(guò)濾器、數(shù)個(gè)儲(chǔ)存罐、數(shù)輛液壓升降式拖車和地磅，所述混合罐通過(guò)液管與所述過(guò)濾器連接，所述過(guò)濾器的出液口處安裝有氣動(dòng)升降式出液管，每個(gè)所述儲(chǔ)存罐固定在對(duì)應(yīng)的拖車頂部，所述儲(chǔ)存罐的進(jìn)液口和出液口處安裝有單向液動(dòng)閥，所述地磅位于所述過(guò)濾器的下方，所述地磅的頂部設(shè)置有將所述拖車固定的氣動(dòng)夾緊機(jī)構(gòu)。在本技術(shù)方案中，載有空儲(chǔ)存罐的拖車置于地磅上方，過(guò)濾器的出液管自動(dòng)下行插入儲(chǔ)存罐的進(jìn)液口中，當(dāng)?shù)匕跛鶞y(cè)得的重量達(dá)到系統(tǒng)預(yù)設(shè)重量時(shí)。京東方用的蝕刻液蝕刻液生產(chǎn)