如果我們要建造一個簡易的無塵室需要按照以下步驟酌情進行：首先第一步要確定無塵室的具體環境參數，根據業主的用途，可能包括但不僅限于潔凈度、溫濕度、細菌數量、風速、氣流分布要求等等。然后找專業的設計師進行工程設計，同時做好相應的報建、消防備案等行政審批工作。第二步再尋找專業的潔凈室施工企業，根據圖紙報價，并組織競標。第三步就是簽訂施工合同，施工方準備好材料進行施工。完工之后進行測試，驗收。無塵室就可以正式投入使用了。

無塵室內穿著潔凈服。惠州10000級無塵室方案

       潔凈室的主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。東莞1000級無塵室方案無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響。

無塵室的定義：空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環境。也就是這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為潔凈室。潔凈室被普遍地應用在對環境污染特別敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥行業等，其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產生影響。作為生產設施，潔凈室可以占據廠房很多位置。無塵室系統制造符合規格之潔凈空氣，連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內的制造區。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經由回風管道間，將潔凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格，通過循環風扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環帶走微塵及熱量，后經過超高性能過濾網或過濾后，供應至Fab區。

    21世界，產業的發展，加速了產業結構的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導致品質低下。伴隨商品的***要求，環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求，在工業上即使使粒子之尺寸想小于。優于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。無塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會用到。

    萬級無塵室等級標準如下：1.塵粒比較大允許數（每立方米）；2.大或等于，大或等于5微米的粒子數不得超過2000個；3.微生物比較大允許數；4.浮游菌數不得超過100個每立方米；5.沉隆菌數不得超過3個每培養皿。6.壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。7.萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，8.溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季24~26℃；波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。9.配電：潔凈室（區）的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。10.噪聲控制一、動態測試時，萬級潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。二、靜態測試時，萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。 無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。東莞1000級無塵室方案

無塵室的環境是怎么樣的？惠州10000級無塵室方案

若想檢驗無塵室是否達到應用標準，大家可以先從遮蔽率;風速、溫濕度;壓差、構成要求這四個方面考慮。其中風速、溫濕度的氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)，一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃，一般濕度控制范圍:(45±5)%RH；壓差是在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa，而在無塵室和未確認潔凈等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時，維持5Pa的較小壓力差是可以接受的。無塵室的構成要求是不會因溫度變化與振動而發生裂痕，也不易產生微塵粒子，且很難附著粒子，而且吸濕性小，但是為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高。

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