復合式無塵室為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易;B.維修設備時可在維修區輕易執行。⑵潔凈管道(CleanTube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為**適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。⑶并裝局部無塵室(CleanSpot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。 無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間。清遠萬級無塵室施工

無塵室人員管理，制定專職管理人員的職責、無塵室人員的準入制度、人員培訓教育規定、進入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理，物料進入、各類設備進入，以及相關設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入室內。潔凈度管理，包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規定等。清掃、滅菌管理，對于無塵室內的各種設備和設施的清掃滅菌方法，周期和檢查作明確的規定，防止、消除無塵室內塵粒、微生物的產生、滯留及繁殖。嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括凈化空調系統、各類水電系統、生產工藝設備和器具等，以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度級別。廣州無塵室如何做好無塵室的管理工作保證無塵室的潔凈度？

無塵室的等級是依據美國聯邦頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。無塵室的適用范圍很廣，只要潔凈要求比較高的都會用到。

      簡易無塵室通常都是建在無塵車間內，所以不需要考慮風淋室、傳遞窗以及空調送風系統，成本與無塵車間比較會有很大降低，當然這與簡易無塵室所需材料、大小以及潔凈級別有一定的關系。會將簡易無塵室建在無塵室之內，但有的客戶不想單獨建無塵車間，在簡易無塵室不考慮空調系統及風淋室、傳遞窗等凈化設備的情況下，簡易無塵室的成本約是無塵車間造價的40%~60%，這取決于客戶對簡易無塵室材料的選擇，以及簡易無塵室的大小。需要潔凈的區域越大，簡易無塵室與無塵車間的成本相比差別會越小。

對無塵室 C/R 而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。

      無塵室工程的換氣次數及風速規定，根據我國潔凈廠房設計規范（GB 50073-2001）規定不同級別的非單向流無塵室工程、潔凈室工程、無菌室工程等送風量的計算所需的換氣次數以及無塵室工程的氣流速度/換氣次數，一直是無塵室工程設計中受到關注的問題，隨著無塵室污染源的控制效果增加及末端過濾器效率的提高等，對有關規范、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論；FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問題已在實踐中得到解決，隨著FFU的不斷改進，對是否采用FFU回風系統也是個熱點：懸浮分子污染（AMC）的控制在微電子及IC工業中已日益提到日程上來，受到關注無塵室該怎么清潔呢？廣州100000級無塵室方案

無塵室是深圳市興元環境工程有限公司經營的范圍之一。清遠萬級無塵室施工

    無塵室環境在線監控系統功能：（1）遠程控制：可在控制室通過計算機進行遠程實時監控及設定報警，數據儲存，報告編輯,打印輸出；（2）聲光報警：報警系統具有采樣流量報警、通訊失敗報警、數值超標報警、硬件故障報警等多種報警功能，以聲、光等方式進行報警提醒，以保證系統長期安全、穩定地運行；（3）粒子監測功能：通過WCH-R80粒子計數器（、，，內置真空泵）用以監測空氣中的粒子數；（4）流量監測功能：監測每一臺粒子監控設備的運行流量，并提供流量是否運行正常的狀態，如設定點流量+/-10％時提供報警信息反饋；（5）連續監測功能：在無菌環境中工作的粒子計數器可以24小時進行連續的監測工作，并內置流量監控；（6）在線浮游菌檢測功能：通過外置氣泵收集浮游在空氣中的生物性粒子于專門的培養基，經流量傳感器測得采樣量提供的采樣流量可達。實現無菌灌裝區內不干擾采樣，外置取盤行動方案。（7）溫濕度、壓差、風速監測功能：監測布置點位的實時溫濕度、壓差、風速數據。清遠萬級無塵室施工

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