晶圓甩干機主要由哪些部分構成？

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無錫凡華半導體科技有限公司2025-02-06

主要由旋轉系統(tǒng)、驅動電機、控制系統(tǒng)、腔室、噴淋系統(tǒng)、氮氣供應系統(tǒng)以及保護外殼等部分組成。

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簡介：無錫凡華半導體科技有限公司主營甩干機、涂膠顯影機、激光打標機，IPA干燥機，晶舟轉換器，花籃清洗機等

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