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半導體設備安裝為什么要做減震措施?

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上海笙電電力科技有限公司2025-02-27

半導體設備多精密昂貴,運行時微小振動都可能影響加工精度。一方面,設備自身的風機、泵等旋轉部件運轉產生振動,若不隔離,會傳遞至設備主體,干擾芯片光刻、蝕刻等精細工序。另一方面,外界振動源,如工廠內相鄰設備、建筑物周邊交通振動,也可能傳入。通過在設備與基座間安裝橡膠減震墊、空氣彈簧減震器等,其特殊彈性結構能吸收、緩沖振動能量,根據設備重量、振動頻率精確選型,將振動影響降至至低,保障芯片制造高精度要求。我們笙電電力科技成立于2016年,是一家專業從事機電設備生產、安裝、調試、維護和技術支持的企業,細心,精心,用心,服務品質永保稱心,歡迎廣大客戶與我司洽談合作!

上海笙電電力科技有限公司
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簡介:上海笙電電力科技有限公司是一家專業從事機電設備生產、安裝、調試、維護和技術支持的企業。
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