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半導體設備安裝如何選無塵車間場地?

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上海笙電電力科技有限公司2025-02-20

半導體設備對環境要求嚴苛,選無塵車間場地時,要考量多方面因素。首先,車間的潔凈度等級需契合設備需求,像光刻設備,應置于至高等級的潔凈區,塵埃粒子數要嚴格控制在極小范圍內,如每立方米不超過10顆(ISO1級標準),防止塵埃污染芯片。其次,場地的溫濕度穩定性至關重要,一般溫度控制在22±0.5℃,濕度40%-60%,避免溫濕度波動影響設備精度與芯片性能。再者,車間要遠離震源,如工廠大型設備、交通要道,地面承載能力足夠,防止設備運行受振動干擾或因地面沉降造成損壞,保障半導體制造高精度環境。我們笙電電力科技可提供包括但不限于發電廠、變電站、工業廠房、商業樓宇等設備的安裝服務,我司銳意進取,持續創新為各行各業提供專業化服務!

上海笙電電力科技有限公司
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簡介:上海笙電電力科技有限公司是一家專業從事機電設備生產、安裝、調試、維護和技術支持的企業。
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