與傳統的切割方式相比，隨著激光技術的成熟，使用激光對硅晶圓進行高效質量切割已成為質量選擇。激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對晶體硅表面造成損傷，解決了金剛石鋸片引入外力對產品內外部的沖擊破壞問題，還免去了更換刀具和模具帶來的長期成本。隨著“工業4.0”和“中國制造2025”的***鋪開，**智能制造越來越離不開高性能激光器的加持。在這樣的宏觀背景下，為超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備這樣的產品提供了廣闊的舞臺，也將隨著其在各行各業的應用而被認可。無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備品質保障。江蘇先進超快激光玻璃晶圓切割設備按需定制

主要性能參數產品型號CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺參數平臺形式XY直線電機基座高精度大理石平臺加工范圍400×400 mm（可定制）定位精度±3 um重復定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業相機600W鏡頭遠心鏡頭系統屬性支持文件格式DXF等常規CAD格式環境要求溫度：20-30℃，濕度：<60%電力需求380V/50Hz/10KVA湖南自制超快激光玻璃晶圓切割設備訂制價格無錫超快激光玻璃晶圓切割設備的出廠價格。

與YAG和CO2激光通過熱效應來切割不同，紫外激光直接破壞被加工材料的化學鍵，從而達到切割目的，這是一個“冷”過程，熱影響區域小。另外，紫外激光的波長短、能量集中且切縫寬度小，因此在精密切割和微加工領域具有***的應用，目前，激光劃片設備采用工業激光器，波長主要有 1064nm、532nm、355nm 三種，脈寬為ns（納秒）、ps（皮秒）和fs（飛秒）級。理論上，激光波長越短脈寬越短，加工熱效應越小，越有利于微細精密加工，但成本相對較高。

相較于機械法，透過激光劃線及切割晶圓的方法仍處于發展階段。隨著晶圓直徑加大、激光器更為便宜且產能增長，其生產優勢也***提升。本文將探討激光切割晶圓的許多研究，包含使用具有各種波長范圍輻射[8,9]、不同脈沖寬度（飛秒、皮秒至納秒[10-13]）與功率之激光。惟上述加工皆未將切割厚度200μm以上的晶圓列入考慮。已確知脈沖頻率愈高，切割速度愈快，為材料內部能量分布增加所致。然每一發脈沖燒蝕深度的增加會引發如熔化、裂紋、非晶化和殘余應力積累等熱影響。將晶圓分離為芯片時，這些熱影響導致芯片強度降低，損壞表層薄膜與敏感的電子器件。無錫超快激光玻璃晶圓切割設備的生產廠家。

超通智能本著以質量求生存，以用戶效益求發展，的服務理念，完善的質量管理體系、合理的價格，真誠為用戶提供*的服務。激光屬于無接觸式加工，不對晶圓產生機械應力的作用，對晶圓損傷較小。由于激光在聚焦上的優點，聚焦點可小到微米數量級，從而對晶圓的微處理具有優越性，可以進行小部件的加工；即使在不高的脈沖能量水平下，也能得到較高的能量密度，有效地進行材料加工。大多數材料吸收激光直接將硅材料氣化，形成溝道。從而實現切割的目的因為光斑點較小，較低限度的炭化影響。超快激光玻璃晶圓切割設備的應用范圍十分廣闊。北京自制超快激光玻璃晶圓切割設備

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晶圓切割（即劃片）是芯片制造工藝流程中一道不可或缺的工序，在晶圓制造中屬于后道工序。晶圓切割就是將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片（晶粒）。**早的晶圓是用切片系統進行切割（劃片）的，這種方法以往占據了世界芯片切割市場的較大份額，特別是在非集成電路晶圓切割領域。鉆石鋸片（砂輪）切割方法是較為常見的晶圓切割方法。新型切割方式有采用激光進行無切割式加工的。晶圓切割工藝流程主要包括：繃片、切割、UV照射。江蘇先進超快激光玻璃晶圓切割設備按需定制

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