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鎮江安全四氟化碳

來源: 發布時間:2020-01-29
經過現場測試和**評審,**組認為,黎明院生產的高純四氟化碳和六氟化硫產品滿足國家重大專項/課題任務書研究內容和考核指標規定的技術要求。項目的驗收完成,標志著黎明院開發的高純度含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫產品,能夠滿足極大規模集成電路行業所需的高純度氣體需求,也標志著極大規模集成電路行業用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實現了國產化。‘高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試’子項目,通過了國家重大專項項目組的現場測試與評審。相關產品已提交客戶使用,市場應用效果良好。”

溫室氣體,其造成溫室效應的作用是二氧化碳的數千倍。鎮江安全四氟化碳

半導體材料屬于高技術壁壘行業,特別是晶圓制造材料,技術要求高,生產難度大。目前,半導體材料**產品大多集中在美國、日本、德國、韓國、中國臺灣等國家和地區生產商。國內由于起步晚,技術積累不足,整體處于相對落后的狀態。目前,國內半導體材料主要集中在中低端領域,**產品基本被國外生產商壟斷。如硅片,2017年全球五大硅片廠商占據了全球94%的市場份額。

近年來國內半導體材料生產商加大了研發投入,大力推進半導體材料的研發及生產,力爭實現國產替代。目前在部分細分領域,已經突破國外壟斷,實現規模化供貨。如CMP拋光材料的**企業安集科技,公司化學機械拋光液已在130-28nm技術節點實現規模化銷售,主要應用于國內8英寸和12英寸主流晶圓產線;濺射靶材**江豐電子,16納米技術節點實現批量供貨,同時7納米技術節點也實現供貨。


江浙滬安全四氟化碳高性價比的選擇溫度較低時,四氟化碳與二氧化碳不發生作用。

對于混合氣而言,配比的精度是參數,隨著產品組分的增加、配制精度的上升,客戶常要求氣體供應商能夠對多種ppm(partpermillion,百萬分之)乃至ppb(partperbillion,十億分之)級濃度的氣體組分進行精細操作,其配制過程的難度與復雜程度也增大。此外,氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環節亦對生產企業提出了較高的技術要求作為關鍵性材料,特種氣體的產品質量對下游產業的正常生產影響巨大。如果晶圓加工環節所使用的氣體發生質量問題,將導致整條生產線產品報廢,造成巨額損失

公司特種氣體產能擴張項目穩步進行。根據公司的招股說明書,公司擬投資 3.5 億元用于氣體中心建設及倉儲經營項目,2.2 億元用于電子氣體生產純化及工業氣體充裝項目總投資。其中,氣體中心建設及倉儲經營項目主要為電子特氣產品,電子氣體生產純化及工業氣體充裝項目也涉及對氟碳類氣體如四氟化硅、六氟乙烷等電子氣體。

氣體中心建設及倉儲經營項目全部達產后,公司將新增產品年產能包括:高純鍺烷 10 噸、硒化氫 40 噸、磷烷 10 噸、年充裝混配氣體 500 噸、倉儲經營銷售砷烷 10 噸、乙硼烷 3 噸、氯氣 300 噸、三氟化硼 10 噸。電子氣體生產純化及工業氣體充裝項目分兩期完成,期投資建設規模為年生產 50 噸硫化氫、年純化 10 噸鍺化氫、100 噸四氟化硅、100噸六氟乙烷、100 噸八氟乙烷、100 噸一氟甲烷。 四氟化碳是無色無臭并且不燃的可壓縮性氣體。

四氟化碳是目前微電子工業中用量的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池生產、激光技術、低溫制冷、泄漏檢驗、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。淄博迪嘉5N四氟化碳氣體常用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術,  四氟化碳又稱四氟甲烷,分子量為88.01,無色無味氣體.微溶于水,在25℃、1大氣壓時,溶解度為0。0015%(重量)。常溫下是壓縮氣體。 只有在1000℃以上,才能和二氧化碳進行反應。常州直銷四氟化碳哪里有

也要注意使用四氟化碳的注意事項。鎮江安全四氟化碳


在常溫常壓下四氟化碳為無色無臭有輕微醚味的氣體,在空氣中不燃燒,具有可壓縮性,揮發性較高,是一種比較穩定的有機化合物。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,會分解出的氟化物。

在900℃時,不與銅、鎳、鎢、鉬反應,*在碳弧溫度下緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。



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