真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學反應，腐蝕泵內零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。 主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。 極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在較低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。 真空泵腐蝕的形態可分為完全（均勻）腐蝕和局部腐蝕兩大類，前者較均勻的發生在真空泵全部表面，后者只是發生在局部，如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應力腐蝕等。采用高分子復合材料對真空泵實施表面有機涂層防腐，其具有良好的耐化學性能及優異的力學性能和粘接性能，與傳統的壓力容器焊接修補相比，具有施工簡便、成本低、安全性能，修復效果好的特點。由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油。山東無油真空泵訂購

真空泵的選型： 真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。 真空泵的影響因素： 它是決議產品的大小,抽氣量請求愈高,產品體積相對愈大,所需配用的電機功率亦會愈高。 它是決議產品采用何種構造,真空度是有表壓及壓力這兩種讀數。壓力表示讀數是值，即讀數愈靠近‘0\'，真空度愈高。但反觀表壓，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所請求的壓力（極限真空）是靠近‘0\'，那么只要真空泵才能夠滿足這個需求。蘇州雙循環水真空泵生產商真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

真空泵的機械選擇： 1.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。 2.真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 3.正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

水環真空泵的節能;溫度越高，氣體的體積越大。當真空泵達到相同的真空度時，其吸力流量也將增加，這將導致負載和能量消耗的增加。因此，控制循環白水的溫度非常重要，尤其是在夏季，這就要求冷卻系統保持良好的冷卻效果。一般認為循環白水較好不要超過35。如果夏季溫度過高，冷卻水流量可適當增加，但同時應注意，冷卻水流量過多也會導致能耗增加，因此冷卻水流量在冬季應適當減少。如果真空泵的容量明顯超過真空系統的需求，將會有過量的真空，并且泵的有效泵送速率將被浪費。采用PID控制來調節變頻器的頻率，從而調節機械泵的有效抽油率，從而達到節能降耗的目的。真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。

真空泵相關的術語解釋： 1.真空的定義 真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態。 2.真空度 處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 3.真空度單位 通常用托（Torr）為單位，國際上取用帕（Pa）作為單位。 1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱 4.托與帕的轉換 1托=133.322帕，或1帕=7.5×10-3托。 5.平均自由程 作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。真空泵轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。山東無油真空泵訂購

通常選擇真空泵的極限壓力應低于工藝要求約一個數量級。山東無油真空泵訂購

分子真空泵的應用情況： 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。山東無油真空泵訂購

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