真空泵相關的術語解釋——真空系統常用名稱： ①主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。 ②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。 ③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。 干泵的應用情況： 國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，較大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。真空泵運行必須安裝電機保護開關。江蘇隔膜真空泵經銷商

干式真空泵關鍵在半導體業、化工、塑料薄膜產業鏈獲得運用于發展趨勢。海外的干泵銷售市場正處在紅紅火火的環節，如日本國，半導體業已所有用干式真空泵替代骨架密封式機械泵，而毆美半導體業45%之上用干式真空泵替代了骨架密封式機械泵，進一步提高了商品的特性和品質。以便考慮不一樣主要用途和不一樣工作狀況的規定，海外有螺桿式機械泵、多級別羅茨真空泵、多級別爪式機械泵、往復活塞桿機械泵、渦旋式機械泵及其增壓式無油真空泵等。干泵極限工作壓力從10Pa～10-2Pa，泵效從50m3/h～1000m3/h。北京減壓蒸餾真空泵哪里有賣氣體捕集泵是真空泵的一種。

真空泵卡死是常見故障，下面我們可依次分析： 首先檢查電機是否與聯軸器脫離，導致泵體無法運轉。 驅動電機是否確實電源相。 分清是電機卡死，還是泵體卡死。 檢查潤滑密封油真空油，是否乳化變質，或者缺油。 解決辦法如下： 分離電機與泵體確認電機無卡死并運轉正常，拆泵前注意各管道閥門已經關閉，拆卸真空泵檢查油路是否回油正常，檢查旋片是否損壞卡死，旋片損壞更換新的旋片，泵腔與轉子無損壞可以繼續使用，裝泵時著重注意安裝密封。

動量傳輸真空泵具體可分為下述幾種類型： （1） 分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式： ① 牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。 ②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。 ③ 復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯起來的一種復合式分子真空泵。 （2） 噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應的壓力降生產的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種： ① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。 ② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。 ③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作為工作介質的餓噴射真空泵。真空泵底座下應保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝。

真空泵使用要點：真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、溶劑及粉末等。如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體等。這些氣體容易導致軸承失效。進氣溫度必須＜50℃，否則在被抽真空室與泵進氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。抽含有水蒸汽的氣體要打開氣鎮閥抽氣，被抽氣體的水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會造成氣鎮閥壽命縮短。真空泵禁止在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽的環境中工作，否則會造成炸裂、火災等危險。禁止由一兩個人移動此泵。要由專業人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護和檢查，不然會導致觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。禁止繼續使用已經損壞的泵，否則會有受傷、觸電甚至被抽系統損壞等危險。真空泵結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。江蘇隔膜真空泵經銷商

真空泵壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差。江蘇隔膜真空泵經銷商

真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。　了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。江蘇隔膜真空泵經銷商

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