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進口碳化硅襯底6寸sic

來源: 發布時間:2021-12-09

隨著全球電子信息及太陽能光伏產業對硅晶片需求量的快速增長,硅晶片線切割用碳化硅微粉的需求量也正在迅速增加。

 以碳化硅(SiC)及GaN為**的寬禁帶材料,是繼Si和GaAs之后的第三代半導體。與Si及GaAs相比,SiC具有寬禁帶、高熱導率、高擊穿場強、高飽和電子漂移速率、化學性能穩定等優點。所以,SiC特別適合于制造高溫、高頻、高功率、抗輻射、抗腐蝕的電子器件。此外,六方SiC與GaN晶格和熱膨脹相匹配,也是制造高亮度GaN發光和激光二極管的理想襯底材料。SiC晶體目前主要應用于光電器件如藍綠光發光二極管以及紫外光激光二極管和功率器件包括大功率肖托基二極管,MES晶體管微波器件等。


SiC由Si原子和C原子組成,其晶體結構具有同質多型體的特點。進口碳化硅襯底6寸sic


       采用碳化硅作襯底的LED器件亮度更高、能耗更低、壽命更長、單位芯片面積更小,且在大功率LED方面具有非常大的優勢。此外,碳化硅除了用作LED襯底,它還可以制造高耐壓、大功率電力電子器件如肖特基二極管(SBD/JBS)、絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)、晶閘管(GTO)、金屬-氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)等,用于智能電網、太陽能并網、電動汽車等行業。與傳統硅基功率電力電子器件相比,碳化硅基功率器件可以**降低能耗,節約電力。比如一臺35kW的太陽能光伏并網逆變器,全部使用硅器件,能耗可達2.8kW,轉換效率為92%,全部換成碳化硅的器件后,能耗可低至1.4kW,約為硅逆變器的50%,轉換效率上升4%,為96%,一座30MW的太陽能發電站,全部使用碳化硅功率器件后可節約大量電能,節能效果十分***。碳化硅可在超過200℃的高溫下長期穩定地工作,因此,相比于硅,碳化硅方案可以大量縮減冷卻負擔,實現系統的小型化和一體化。碳化硅基電力電子器件已經應用于新一代航空母艦的電磁彈射系統,大幅度提高了艦載機起降效率,增強了航母作戰性能。 進口碳化硅襯底6寸sicSiC的基本結構單元是Si-C四面體,屬于密堆積結構。

采用SiC的功率模塊將進入諸如可再生能源、UPS電源、驅動器和汽車等應用。風電和牽引應用可能會隨之而來。 到2021年,SiC功率器件市場總額預計將上升到10億美元 。在某些市場,如太陽能,SiC器件已投入運行,盡管事實上這些模塊的價格仍然比常規硅器件高。是什么使這種材料具有足夠的吸引力,即使價格更高也心甘情愿地被接受?首先,作為寬禁帶材料,SiC提供了功率半導體器件的新設計方法。傳統功率硅技術中,IGBT開關被用于高于600V的電壓,并且硅PIN-續流二極管是**技術的。硅功率器件的設計與軟開關特性造成相當大的功率損耗。有了SiC的寬禁帶,可設計阻斷電壓高達15kV的高壓MOSFET,同時動態損耗非常小。有了SiC,傳統的軟關斷硅二極管可由肖特基二極管取代,并帶來非常低的開關損耗。作為一個額外的優勢,SiC具有比硅高3倍的熱傳導率。連同低功率損耗,SiC是提高功率模塊**率密度的一種理想材料。

  此外,碳化硅材料的重要用途還包括:微波器件襯底[3]、石墨烯外延襯底[4]、人工鉆石。碳化硅(指半絕緣型)是射頻微波器件的理想襯底材料,以之為襯底的微波器件其輸出功率密度是砷化鎵(GaAs)器件的10倍以上,工作頻率達到100GHz以上,可以***提高雷達、通信、電子對抗以及智能武器的整體性能和可靠性,使用碳化硅基微波器件的雷達其測距由原來的80~100km提升到現在的超過300km。在碳化硅襯底上外延生長石墨烯,可望制造高性能的石墨烯集成電路,是當前國際研發的熱點,IBM(美國)已經投入了巨資進行研發[5],并取得了重要進展,在半絕緣型碳化硅上創建了全球較早全功能石墨烯集成電路[6]。碳化硅晶體的硬度僅次于鉆石,其明亮度、光澤度和火彩甚至超過了鉆石,基于碳化硅的人工鉆石(莫桑鉆)也已經面市。碳化硅半導體完整產業鏈條包括:碳化硅原料-晶錠-襯底-外延-芯片-器件-模塊。

碳化硅早在1842年就被發現了,但直到1955年,飛利浦(荷蘭)實驗室的Lely才開發出生長***碳化硅晶體材料的方法。到了1987年,商業化生產的SiC襯底進入市場,進入21世紀后,SiC襯底的商業應用才算***鋪開。碳化硅分為立方相(閃鋅礦結構)、六方相(纖鋅礦結構)和菱方相3大類共260多種結構,目前只有六方相中的4H-SiC、6H-SiC才有商業價值,美國科銳(Cree)等公司已經批量生產這類襯底。立方相(3C-SiC)還不能獲得有商業價值的成品。p-SiC電子遷移率比較高,飽和電子漂移速度**快,擊穿電場**強,較適宜于制造高溫、大功率、高頻器件等。河南碳化硅襯底進口導電

現在,SiC材料正在大舉進入功率半導體領域。進口碳化硅襯底6寸sic

近年來銷售競爭能力大幅度提高,成為全球精細化工產業極具活力、發展**快的市場。據統計,21世紀初期,歐美等發達地區的精細化工率已達到70%左右。作為陶瓷研磨球,碳化硅,陶瓷精加工,拋光液的重要組成部分,防銹顏料發揮著減緩金屬腐蝕的效果,常見的含重金屬的防銹顏料雖然性能優異,但對環境會造成極大污染,因而在實際使用中逐漸受到限制。與此同時,化工行業市場競爭加劇,將物流環節從生產企業剝離出來實現整體外包,繼而推行第三方物流以及供應鏈管理,是私營有限責任公司企業增強市場競爭力的另一突破。是對蘇州豪麥瑞材料科技有限公司(Homray Material Company)成立于2014年,是由一群在半導體行業從業多年的專業團隊所組成,專注于半導體技術和資源的發展與整合,現以進口碳化硅晶圓,供應切割、研磨及拋光等相關制程的材料與加工設備,氧化鋁研磨球,氧化鋯研磨球,陶瓷研磨球,陶瓷精加工,拋光液。產品差異化和專業化的發展要求,將會為企業發展帶來新的生機,需要發展一些**產品、特種性能產品及差異化產品來滿足市場分層次的需求。進口碳化硅襯底6寸sic

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