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山東進口6寸碳化硅襯底

來源: 發布時間:2023-02-10

隨著電力電子變換系統對于效率和體積提出更高的要求,SiC(碳化硅)將會是越來越合適的半導體器件。尤其針對光伏逆變器和UPS應用,SiC器件是實現其高功率密度的一種非常有效的手段。由于SiC相對于Si的一些獨特性,對于SiC技術的研究,可以追溯到上世界70年代。簡單來說,SiC主要在以下3個方面具有明顯的優勢:擊穿電壓強度高(10倍于Si)更寬的能帶隙(3倍于Si)熱導率高(3倍于Si)這些特性使得SiC器件更適合應用在高功率密度、高開關頻率的場合。當然,這些特性也使得大規模生產面臨一些障礙,直到2000年初單晶SiC晶片出現才開始逐步量產。目前標準的是4英寸晶片,但是接下來6英寸晶片也要誕生,這會導致成本有顯著的下降。而相比之下,當今12英寸的Si晶片已經很普遍,如果預測沒有問題的話,接下來4到5年的時間18英寸的Si晶片也會出現。哪家的碳化硅襯底的價格優惠?山東進口6寸碳化硅襯底

    降低碳化硅襯底的成本的三個方法:1)做大尺寸:襯底的尺寸越大,邊緣的浪費就越小,有利于進一步降低芯片的成本。6英寸襯底面積為4英寸襯底的,相同的晶體制備時間內襯底面積的倍數提升帶來襯底成本的大幅降低,與此同時,單片襯底上制備的芯片數量隨著襯底尺寸增大而增多,單位芯片的成本也即隨之降低。2)提高材料使用效率:由于技術限制,長晶時間很難縮短,而單位時間內長晶越厚成本越低,因此可以設法增加晶錠厚度;另一方面,目前的切割工藝很容易造成浪費,可以通過激光切割或其他技術手段減少切割損耗。3)提高良率:以山東天岳為例,碳化硅襯底產品良率逐年提升,綜合良率由30%提升至38%,國內廠商良率情況普遍在40%左右,若能提升至60%-70%,碳化硅襯底生產成本將得到進一步下降。 4寸碳化硅襯底導電哪家的碳化硅襯底成本價比較低?

SiC碳化硅是制作高溫、高頻、大功率、高壓器件的理想材料之一:由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導體材料。相比傳統的硅材料(Si),碳化硅(SiC)的禁帶寬度是硅的3倍;導熱率為硅的4-5倍;擊穿電壓為硅的8-10倍;電子飽和漂移速率為硅的2-3倍。優勢體現在:1)耐高壓特性:更低的阻抗、禁帶寬度更寬,能承受更大的電流和電壓,帶來更小尺寸的產品設計和更高的效率;2)耐高頻特性:SiC器件在關斷過程中不存在電流拖尾現象,能有效提高元件的開關速度(大約是Si的3-10倍),適用于更高頻率和更快的開關速度;3)耐高溫特性:SiC相較硅擁有更高的熱導率,能在更高溫度下工作。

為提高生產效率并降低成本,大尺寸是碳化硅襯備技術的重要發展方向。襯底尺寸越大,單位襯底可制造的芯片數量越多,單位芯片成本越低。襯底的尺寸越大,邊緣的浪費就越小,有利于進一步降低芯片的成本。在半絕緣型碳化硅市場,目前主流的襯底產品規格為4英寸。在導電型碳化硅市場,目前主流的襯底產品規格為6英寸。在8英寸方面,與硅材料芯片相比,8英寸和6英寸SiC生產的主要差別在高溫工藝上,例如高溫離子注入,高溫氧化,高溫等,以及這些高溫工藝所需求的硬掩模工藝等。根據中國寬禁帶功率半導體及應用產業聯盟的預測,預計2020~2025年國內市場的需求,4英寸逐步從10萬片市場減少到5萬片,6英寸晶圓將從8萬片增長到20萬片;2025~2030年:4英寸晶圓將逐漸退出市場,6英寸晶圓將增長至40萬片。碳化硅襯底的類別一般有哪些?

    在4H-SiC材料和器件發展方面,美國處于國際地位,已經從探索性研究階段向大規模研究和應用階段過渡。CREE公司已經生產出4英寸(100mm)零微管(ZMP)n型SiC襯底。同時,螺旋位錯(screwdislocation)密度被降低到幾十個/cm2。商用水平比較高的器件:4H-SiCMESFET在S-波段連續波工作60W(,ldB壓縮),漏效率45%(,POUT=PldB),工作頻率至。近期CREE公司生產的CRF35010性能達到:工作電壓48V,輸出功率10W,工作頻率,線性增益10dB;美國正在逐步將這種器件裝備在***武器上,如固態相控陣雷達系統、***通訊電子系統、高頻電源系統、電子戰系統——干擾和威脅信號預警等。其中Cree公司的SiCMESFET功率管已經正式裝備美國海軍的新一代預警機E2D樣機。近期俄羅斯、歐洲和日本加快發展,SiC材料生長和器件制造技術也在不斷走向成熟。 碳化硅襯底的使用時要注意什么?四川進口4寸n型碳化硅襯底

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碳化硅是技術密集型行業,對研發人員操作經驗、資金投入有較高要求。國際巨頭半導體公司研發早于國內公司數十年,提前完成了技術積累工作。因此,國內企業存在人才匱乏、技術水平較低的困難,制約了半導體行業的產業化進程發展。而在碳化硅第三代半導體產業中,行業整體處于產業化初期,中國企業與海外企業的差距明顯縮小。受益于中國5G通訊、新能源等新興產業的技術水平、產業化規模的地位,國內碳化硅器件巨大的應用市場空間驅動上游半導體行業快速發展,國內碳化硅廠商具有自身優勢。在全球半導體材料供應不足的背景下,國際企業紛紛提出碳化硅產能擴張計劃并保持高研發投入。同時,國內本土SiC廠家加速碳化硅領域布局,把握發展機會,追趕國際企業。山東進口6寸碳化硅襯底

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