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上海進(jìn)口4寸半絕緣碳化硅襯底

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-09-27

SiC由Si原子和C原子組成,其晶體結(jié)構(gòu)具有同質(zhì)多型體的特點(diǎn),在半導(dǎo)體領(lǐng)域常見的是具有立方閃鋅礦結(jié)構(gòu)的3C-SiC和六方纖鋅礦結(jié)構(gòu)的4H-SiC和6H-SiC。21世紀(jì)以來以Si為基本材料的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)已有長足的發(fā)展,隨著MEMS應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)展,Si材料本身的性能局限性制約了Si基MEMS在高溫、高頻、強(qiáng)輻射及化學(xué)腐蝕等極端條件下的應(yīng)用。因此尋找Si的新型替代材料正日益受到重視。在眾多半導(dǎo)體材料中,SiC的機(jī)械強(qiáng)度、熱學(xué)性能、抗腐蝕性、耐磨性等方面具有明顯的優(yōu)勢,且與IC工藝兼容,故而在極端條件的MEMS應(yīng)用中,成為Si的優(yōu)先替代材料。蘇州哪家公司的碳化硅襯底的價(jià)格比較劃算?上海進(jìn)口4寸半絕緣碳化硅襯底

N型碳化硅襯底材料是支撐電力電子行業(yè)發(fā)展必不可少的重要材料。其耐高壓、耐高頻等突出的物理特性可以廣泛應(yīng)用于大功率高頻電子器件、電動汽車PCU、光伏逆變、軌道交通電力控制系統(tǒng)等領(lǐng)域,起到減小體積簡化系統(tǒng),提升功率密度的作用,發(fā)光二極管(LED)是利用半導(dǎo)體中電子與空穴復(fù)合發(fā)光的一種電子元器件,是一種節(jié)能環(huán)保的冷光源。SiC材料具有與GaN晶格失配小、熱導(dǎo)率高、器件尺寸小、抗靜電能力強(qiáng)、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)是GaN系外延材料的理想襯底,由于其良好的熱導(dǎo)率,解決了功率型GaN-LED器件的散熱問題,特別適合制備大功率的半導(dǎo)體照明用LED,這樣提高了出光效率,又能有效的降低能耗。河南進(jìn)口4寸半絕緣碳化硅襯底碳化硅襯底的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?

    碳化硅(SiC)是第三代化合物半導(dǎo)體材料。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石是芯片,制作芯片的材料按照歷史進(jìn)程分為:代半導(dǎo)體材料(大部分為目前使用的高純度硅),第二代化合物半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦),第三代化合物半導(dǎo)體材料(碳化硅、氮化鎵)。碳化硅因其優(yōu)越的物理性能:高禁帶寬度(對應(yīng)高擊穿電場和高功率密度)、高電導(dǎo)率、高熱導(dǎo)率,將是未來被使用的制作半導(dǎo)體芯片的基礎(chǔ)材料。從產(chǎn)業(yè)格局看,目前全球SiC產(chǎn)業(yè)格局呈現(xiàn)美國、歐洲、日本三足鼎立態(tài)勢。其中美國全球獨(dú)大,占有全球SiC產(chǎn)量的70%~80%,碳化硅晶圓市場CREE一家市占率高達(dá)6成之多;歐洲擁有完整的SiC襯底、外延、器件以及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)鏈,在全球電力電子市場擁有強(qiáng)大的話語權(quán);日本是設(shè)備和模塊開發(fā)方面的者。

    在4H-SiC材料和器件發(fā)展方面,美國處于國際地位,已經(jīng)從探索性研究階段向大規(guī)模研究和應(yīng)用階段過渡。CREE公司已經(jīng)生產(chǎn)出4英寸(100mm)零微管(ZMP)n型SiC襯底。同時(shí),螺旋位錯(cuò)(screwdislocation)密度被降低到幾十個(gè)/cm2。商用水平比較高的器件:4H-SiCMESFET在S-波段連續(xù)波工作60W(,ldB壓縮),漏效率45%(,POUT=PldB),工作頻率至。近期CREE公司生產(chǎn)的CRF35010性能達(dá)到:工作電壓48V,輸出功率10W,工作頻率,線性增益10dB;美國正在逐步將這種器件裝備在***武器上,如固態(tài)相控陣?yán)走_(dá)系統(tǒng)、***通訊電子系統(tǒng)、高頻電源系統(tǒng)、電子戰(zhàn)系統(tǒng)——干擾和威脅信號預(yù)警等。其中Cree公司的SiCMESFET功率管已經(jīng)正式裝備美國海軍的新一代預(yù)警機(jī)E2D樣機(jī)。近期俄羅斯、歐洲和日本加快發(fā)展,SiC材料生長和器件制造技術(shù)也在不斷走向成熟。 碳化硅襯底的的性價(jià)比、質(zhì)量哪家比較好?

設(shè)備制造商之間的一場大戰(zhàn)正在牽引逆變器領(lǐng)域展開,尤其是純電池電動汽車。一般來說,混合動力車正朝著48伏電池的方向發(fā)展。對于動力發(fā)明家來說,SiC對于混合動力車來說通常太貴了,盡管有例外。與混合動力一樣,純電池電動汽車由牽引逆變器組成。高壓母線將逆變器連接到蓄電池和電機(jī)。電池為汽車提供能量。驅(qū)動車輛的電機(jī)有三個(gè)接頭或電線。這三個(gè)連接延伸至牽引逆變器,然后連接至逆變器模塊內(nèi)的六個(gè)開關(guān)。每個(gè)開關(guān)實(shí)際上都是一個(gè)功率半導(dǎo)體,在系統(tǒng)中用作電開關(guān)。對于開關(guān),現(xiàn)有的技術(shù)是IGBT。因此,牽引逆變器可能由六個(gè)額定電壓為1200伏的IGBT組成。如何區(qū)分碳化硅襯底的的質(zhì)量好壞。廣東4寸半絕緣碳化硅襯底

哪家的碳化硅襯底價(jià)格比較低?上海進(jìn)口4寸半絕緣碳化硅襯底

    降低碳化硅襯底的成本的三個(gè)方法:1)做大尺寸:襯底的尺寸越大,邊緣的浪費(fèi)就越小,有利于進(jìn)一步降低芯片的成本。6英寸襯底面積為4英寸襯底的,相同的晶體制備時(shí)間內(nèi)襯底面積的倍數(shù)提升帶來襯底成本的大幅降低,與此同時(shí),單片襯底上制備的芯片數(shù)量隨著襯底尺寸增大而增多,單位芯片的成本也即隨之降低。2)提高材料使用效率:由于技術(shù)限制,長晶時(shí)間很難縮短,而單位時(shí)間內(nèi)長晶越厚成本越低,因此可以設(shè)法增加晶錠厚度;另一方面,目前的切割工藝很容易造成浪費(fèi),可以通過激光切割或其他技術(shù)手段減少切割損耗。3)提高良率:以山東天岳為例,碳化硅襯底產(chǎn)品良率逐年提升,綜合良率由30%提升至38%,國內(nèi)廠商良率情況普遍在40%左右,若能提升至60%-70%,碳化硅襯底生產(chǎn)成本將得到進(jìn)一步下降。 上海進(jìn)口4寸半絕緣碳化硅襯底

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