在實際應用中，微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的：一類是排氣很順暢，直通大氣；另一類是排氣阻力較大，比如在排氣管路上有閥、細小彎管、大阻尼傳感器、非專門用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現代設計制造中，把面對不同排氣條件的微型真空泵區別對待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數就是標定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴格的技術手段確定選型是否恰當。簡單地說，對于排氣阻力大的系統，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列、PCF系列；對于排氣阻力小的系統，選型范圍是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。工業水環真空泵制造商

由于水環真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環泵應用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中指示的方向順時針旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的上部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環的下部內表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環內有一定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數目相等的若干個小腔。干式真空泵定制費用對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間。

液環式真空泵是帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的旋轉變容真空泵。液環真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內回轉運動使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉液環和葉輪構成，其結構和工作原理與液環壓縮機相似。當工作液體為水時，稱水環式真空泵，水環真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯大氣噴射器可達270~670 Pa。

歐美半導體行業45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據統計，目前國產干泵的應用還不足1％，國內半導體工業用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發干泵，使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修。

關于真空泵的發展，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。液環泵屬于粗真空泵，在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域有著很大的市場。工業水環真空泵制造商

噴嘴是影響真空泵性能的重要部件。工業水環真空泵制造商

簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優勢。對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非常現實的。這就使規模化應用的真空機組得到的簡化。在某些中真空應用中，需要進入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實現，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數量級而進入10-1Pa，所以中真空應用也常用三級機組。工業水環真空泵制造商

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