我們往往需要通過灰度光刻的方式來實現微透鏡陣列結構,灰度光刻的就是利用灰度光刻掩膜版(掩膜接觸式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區域完全曝透,而某些區域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態的光刻膠結構(如下圖4所示,八邊金字塔結構)。微透鏡陣列也是類似,可以通過劑量分布的控制來控制其輪廓形態。需要注意,灰度光刻方法獲得的微透鏡陣列的表面粗糙度相比于熱回流和噴墨法獲得的透鏡要大的多,約為Ra=100nm,前兩者可以會的Ra=50nm的球面。雙光子灰度光刻無掩模光刻系統Quantum X,適用于制造微光學衍射以及折射元件。雙光子灰度光刻3D微納加工
傳感器對可控技術的重要性,在眾多領域都是顯而易見的,無論是從簡單的家用電器,還是到可穿戴設備,甚至到航空應用,只有控制良好的流程才有被優化的可能。理想的傳感器應該具有高敏感度,不易故障,并且易于集成到流程中等優點。光纖端面的微型傳感器在這個方面具有巨大的潛力。這些傳感器空間占有率小,可以輕松多路復用,并且不需要額外的外部能源供應。對于這些基于光纖的傳感器的加工,雙光子聚合技術已被證明是其完美的搭檔。事實上,任何設計模型都能在微觀尺寸上被實現。然而,大多數設計都是靜態的,打印出來的部件在被加工出來后不能進行進一步的活動。吉林2PP灰度光刻無掩膜激光直寫Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您了解成熟的灰度光刻技術。
作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統,QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學質量表面的高精度微納光學聚合物母版,可適用于批量生產的流水線工業程序,例如注塑,熱壓花和納米壓印等加工流程,從而拓展微納加工工業領域的應用。2GL與這些批量生產流水線工業程序的結合得益于新技術的亞微米分辨率和靈活性的特點,同時縮短創新微納光學器件(如衍射和折射光學器件)的整體制造時間。另外,QuantumX打印系統非常適合DOE的制作。該系統的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學元件所需的橫向和縱向高分辨率要求?;陔p光子灰度光刻技術(2GL®)的QuantumX打印系統可以實現一氣呵成的制作,即一步打印多級衍射光學元件,并以經濟高效的方法將多達4,096層的設計加工成離散的或準連續的拓撲。
Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統生產商,擁有多項**技術,為全球客戶提供整套硬件,軟件,打印材料和解決方案一站式服務。Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統生產商,擁有多項專項技術,為全球客戶提供整套硬件,軟件,打印材料和解決方案一站式服務。Nanoscribe的雙光子聚合技術具有極高設計自由度和超高精度的特點,結合具備生物兼容特點的光敏樹脂和生物材料,開發并制作真正意義上的高精度3D微納結構,適用于生命科學領域的應用,如設計和定制微型生物醫學設備的原型制作?;陔p光子灰度光刻技術 (2GL ?)的Quantum X打印系統可以實現一氣呵成的制作。
這款灰度光刻設備還具備智能化的特點。它配備了先進的自動化控制系統,可以實現自動調節和監控,減少了人工操作的需求,提高了生產線的穩定性和可靠性。同時,設備還具備故障自診斷和遠程監控功能,及時發現和解決問題,減少了生產線的停機時間,提高了生產效率。這款設備還具備良好的適應性和可擴展性。它可以適應不同材料和工藝的加工需求,為我們的生產線提供了更大的靈活性。同時,設備還支持模塊化設計,可以根據需要進行擴展和升級,滿足我們未來的生產需求。這款全新的灰度光刻設備為我們的生產線帶來了巨大的改變。它的精度、穩定性和高效性使我們能夠更好地滿足客戶的需求,提高產品質量和生產效率。我們相信,有了這款設備的加入,我們的公司將迎來更加美好的未來。微納3D打印和灰度光刻技術有什么區別?雙光子灰度光刻3D微納加工
灰度光刻技術是一種非接觸、高精度的光刻技術,具有較高的靈活性和自由度。雙光子灰度光刻3D微納加工
雙光子灰度光刻技術可以一步實現真正具有出色形狀精度的多級衍射光學元件(DOE),并且滿足DOE納米結構表面的橫向和縱向分辨率達到亞微米量級。由于需要多次光刻,刻蝕和對準工藝,衍射光學元件(DOE)的傳統制造耗時長且成本高。而利用增材制造即可簡單一步實現多級衍射光學元件,可以直接作為原型使用,也可以作為批量生產母版工具。Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無掩模光刻系統的設計多功能性配合打印材料的多方面選擇性,可以實現微機械元件的制作,例如用光敏聚合物,納米顆粒復合物,或水凝膠打印的遠程操控可移動微型機器人,并可以選擇添加金屬涂層。此外,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機電系統(MEMS)。雙光子灰度光刻3D微納加工