真空計可以按照測量原理、結構特點以及使用范圍等進行分類。其中，按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如：波爾登規的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規和熱電偶規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa，經改進后的熱陰極電離規（如Bayard-Alpert規）可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。溫度對皮拉尼真空計測量結果有何影響？廣東mems電容真空計公司

MEMS電容真空計是一種利用微機電系統（MEMS）技術制造的電容式真空計。以下是對MEMS電容真空計的詳細介紹：

基本原理MEMS電容真空計基于電容變化的原理來測量真空度。它包含一個彈性薄膜作為感測元件，當外界氣壓改變時，薄膜會發生形變，進而改變與上下電極之間的電容值。通過測量這種電容變化，可以計算出真空度的值。具體來說，當真空度增加時，薄膜受到的壓力減小，發生向上的形變，導致與上電極之間的電容增加；反之，當真空度減小時，薄膜受到的壓力增大，發生向下的形變，導致與上電極之間的電容減小。 mems皮拉尼真空計公司皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器，它是根據皮拉尼原理制成的。

真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點：一、高精度真空計具有高精度度的特點，能夠測量非常微小的壓力變化。這種高精度使得真空計在需要精確控制真空度的場合中非常有用，如半導體制造、真空冶金和科學研究等領域。二、使用方便現代真空計通常采用數字化顯示屏幕，與傳統的指針表相比更加直觀和方便。數字化顯示使得用戶能夠更輕松地讀取測量結果，并進行數據記錄和分析。三、穩定性能良好真空計具有良好的穩定性，能夠在各種環境條件下保持測量精度。即使在一些惡劣的工業環境中，真空計也能夠工作良好，不易受外界干擾。這種穩定性使得真空計在長時間監測真空度的應用中非常可靠。四、測量范圍廣不同類型的真空計適用于不同的測量范圍，從粗真空到高真空都有相應的真空計可供選擇。這使得真空計能夠滿足不同領域和應用場景的需求。

在實際應用中，不同類型的真空計通常結合使用，以覆蓋不同的壓力范圍。同時，為了確保真空計的精度和可靠性，需要定期對其進行校準和維護。此外，在選擇真空計時，還需要考慮其測量范圍、精度、響應時間等性能指標，以及工作環境中的氣體種類、溫度等因素對真空計性能的影響。綜上所述，真空計在科研、工業生產、醫療、航空航天等多個領域都發揮著重要作用。隨著科技的不斷發展，真空計的性能將不斷提升，應用范圍也將進一步擴大。真空計種類那么多，應該如何選擇？

幾種主要類型真空計的詳細介紹和對比

真空計按真空度刻度方法分類

真空計測量原理：直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。特點：對所有氣體都是準確的，且與氣體種類無關。示例：U型鎊壓力計、壓縮式真空計、熱輻射真空計等。相對真空計測量原理：由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準才能刻度。特點：讀數與氣體種類有關。示例：熱傳導真空計、電離真空計等。 真空計有哪幾種常見的類型？浙江高精度真空計設備供應商

如何維護和保養電容真空計？廣東mems電容真空計公司

    不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，主要包括以下幾類：

利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規和熱電偶規，它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。

利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規和冷陰極電離規，它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。 廣東mems電容真空計公司