目前,直拉法是生長晶圓**常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法還有區熔法。區熔法,簡稱Fz法。1939年,在貝爾實驗室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區域勻平”的念頭,后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協助下,生長出了高純度的鍺以及硅單晶,并獲得了**。這種方法是利用熱能在半導體多晶棒料的一端產生一熔區,使其重結晶為單晶。使熔區沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動,進而通過整根棒料,使多晶棒料生長成一根單晶棒料,區熔法也需要籽晶,且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 普遍認為機械臂是實現智能制造的很好的載體,可以實現五軸數控無法實現的大操作空間與靈活性。汕尾正規晶圓運送機械吸臂維修電話
電動式 電力驅動是目前機械臂使用得**多的一種驅動方式。其特點是電源方便,響應快,驅動力較大(關節型的持重已達400公斤),信號檢測、傳遞、處理方便,并可以采用多種靈活的控制方案。驅動電機一般采用步進電機,直流伺服電機以及交流伺服電機(其中交流伺服電機為目前主要的驅動形式)。由于電機速度高,通常采用減速機構(如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構等)。目前,有些機械臂已開始采用無減速機構的大轉矩、低轉速的電機進行直接驅動(DD),這既可以使機構簡化,又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣,一般只需點位控制。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求,只要求始點和終點位姿準確。如機床上用的上下料器人,工件堆垛機械臂,注塑機配套用的機械等。廣州官方晶圓運送機械吸臂銷售詞隨著宇航業及機器人業的飛速發展,越來越多地采用由若干個柔性構件組成的多柔體系統。
使用匯編語言編寫計算機程序,程序員仍然需要十分熟悉計算機系統的硬件結構,所以從程序設計本身上來看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計算機硬件系統關系密切,在某些特定的場合,如對時空效率要求很高的系統**程序以及實時控制程序等,迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設計工具。工業機械臂目前還沒有統一的分類標準。根據不同的要求可進行不同的分類。一、按驅動方式分1.液壓式 液壓驅動機械臂通常由液動機(各種油缸、油馬達)、伺服閥、油泵、油箱等組成驅動系統,由驅動機械臂的執行機構進行工作。通常它具有很大的抓舉能力(高達幾百公斤以上),其特點是結構緊湊,動 作平穩,耐沖擊,耐振動,防爆性好,但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能,否則漏油將污染環境。2.氣動式 其驅動系統通常由氣缸、氣閥、氣罐和空壓機組成,其特點是氣源方便,動作迅速、結構簡單、造價較低、維修方便。但難以進行速度控制,氣壓不可太高,故抓舉能力較低。
技術實現要素:
本實用新型要解決的技術問題是:現有機械手臂易出現碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。
為了解決上述問題,本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。
可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。
可選地,所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內,并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。
可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。
可選地,所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。
可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環形。
可選地,所述絨毛墊的數量為三個以上,各個所述絨毛墊之間間隔排布。 有時往往相互矛盾,剛性好、載重大,結構往往粗大、導向桿也多。
接下來是單晶硅生長,**常用的方法叫直拉法(CZ法)。如下圖所示,高純度的多晶硅放在石英坩堝中,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400 ℃,爐中的氣體通常是惰性氣體,使多晶硅熔化,同時又不會產生不需要的化學反應。為了形成單晶硅,還需要控制晶體的方向:坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉,把一顆籽晶浸入其中,并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉,同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內部晶格方向相同的單晶硅棒。柔性機械臂不只是一個剛柔耦合的非線性系統,也是系統動力學特性與控制特性相互耦合的非線性系統。深圳本地晶圓運送機械吸臂銷售價格
機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮。汕尾正規晶圓運送機械吸臂維修電話
例如:尋找,運輸,握取,對準,裝配,檢驗等動作. 為了明確地描述工業機械人,美國機械人協會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制,多功能的操作器,它透過程式控制和多變化的動作設計來移動材料,工件,工具或特別設備,以完成一連串的工作.所以,雖然許多工業機械人并非有人的形態,但只要它們符合機械人的定義,便可以稱為機械人.工業機械人雖然已被廣泛應用在多種制造行業內,但估計在不久將來還會有數以十萬計的工業機械人投入服務.現時,不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺,令機械人可以完成更復雜的工作.而研究機械人的學問稱為機械人學。汕尾正規晶圓運送機械吸臂維修電話
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