與傳統的SCARA型搬運機械手相比，蛙腿型機械手的傳動機構更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯結構，包括1對大臂和2對小臂。2個直驅電機分別通過2個同軸的旋轉軸連接大臂，大臂末端通過4個旋轉軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉軸連接晶圓托盤。 該機械手雖然只有3個電機，但水平連桿卻有10個旋轉關節，因此對整個真空機械手建立旋轉關節坐標與末端晶圓托盤坐標之間的函數關系是一個復雜的過程機械手要獲得較高的位置精度，除采用先進的控制方法外，在結構上還注意以下幾個問題；江門晶圓運送機械吸臂工廠

    控制策略對柔性機械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結構的彈性變形對結構剛體運動的影響。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機械臂的穩定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運動的比較大角速度為。2)前饋補償法。將機械臂柔性變形形成的機械振動看成是對剛性運動的確定性干擾而采用前饋補償的辦法來抵消這種干擾。德國的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關節的工業機器人的前饋控制。張鐵民研究了基于利用增加零點來消除系統的主導極點和系統不穩定的方法設計了具有時間延時的前饋控制器和PID控制器比較起來可以更加明顯的消除系統的殘余振動。SeeringWarrenP。等學者對前饋補償技術進行了深入的研究。 梅州直銷晶圓運送機械吸臂公司一般也都裝在手臂上。所以手臂的結構、工作范圍、承載能力和動作精度都直接影響機械手的工作性能。

隨著機器人技術的發展，應用高速度、高精度、高負載自重比的機器人結構受到工業和航空航天領域的關注。由于運動過程中關節和連桿的柔性效應的增加，使結構發生變形從而使任務執行的精度降低。所以，機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮，實現柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統動力學特性。柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統，其動力學方程具有非線性、強耦合、實變等特點。而進行柔性臂動力學問題的研究，其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛柔耦合的非線性系統，而且也是系統動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統。動力學建模的目的是為控制系統描述及控制器設計提供依據。一般控制系統的描述（包括時域的狀態空間描述和頻域的傳遞函數描述）與傳感器/執行器的定位，從執行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關。

背景技術：

晶圓的生產與制作屬極為精密的加工技術，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進行運輸傳遞等作業。例如，準備對晶圓進行刻蝕加工時，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機臺內。

現有一種晶圓傳輸裝置包括機械手臂，該機械手臂的表面設有卡槽，晶圓用于放置在該卡槽內，以防止機械手臂在傳送晶圓時發生晶圓平移(即晶圓相對機械手臂運動)。然而，現有機械手臂易出現碰撞損傷，另外，機械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產效率。

機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構造模塊。TO-DOM由兩個旋轉模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據空間機械臂的具體構型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設計,即可配置成確定構型的二自由度關節。由這樣數個不同構型的二自由度關節可以組裝出具有偶數個自由度的空間機器臂。采用一體化概念設計的TODOM減小了關節的質量與體積,提高了系統的可靠性。通過對由TODOM構成的一套二自由度關節進行的試驗初步驗證了TODOM設計概念的合理性及可行性。手臂的運動速度要適當，慣性要小.梅州直銷晶圓運送機械吸臂公司

精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業。江門晶圓運送機械吸臂工廠

進行光刻：

將設計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過多次光刻。而隨著技術革新，極紫光刻出現了，現階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成。

注射：

在真空下，將導電材料注入晶圓的電路內部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 江門晶圓運送機械吸臂工廠

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