區熔法分為兩種：水平區熔法和立式懸浮區熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高，化學性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區熔法不能用在硅的生長上啦。區熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區熔法一般不使用坩鍋，引入的雜質更少，生長的材料雜質含量也就更少。總而言之，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo，圖左的尖尖是籽晶，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態里出來后，由于復雜的流體力學原理，以及熔融態的硅迅速凝固而導致的。 手臂。起著連接和承受外力的作用。中山原裝晶圓運送機械吸臂公司

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題是：現有機械手臂易出現碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設在所述螺紋通孔內，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環形。

可選地，所述絨毛墊的數量為三個以上，各個所述絨毛墊之間間隔排布。 汕尾官方晶圓運送機械吸臂廠商盡管它們的形態各有不同，但它們都有一個共同的特點，就是能夠接受指令.

工業機械臂不應該稱之為智能制造的未來，智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業機械臂這一種工業產品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎？答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應、多傳感信息融合等，將現有的制造水平提升到更高的層次，工業機械臂只是時下研究的熱點，工業機械臂在未來智能場景中的角色目前還未能給出定論。簡單的搬運與碼垛，根本無法稱之為智能制造。工業機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走，而且這條路是否能走得通，還是一個問號呢，目前各國的研究人員都比較看好這個方向，普遍認為機械臂是實現智能制造的很好的載體，可以實現五軸數控無法實現的大操作空間與靈活性。

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現運動控制。2臺直驅電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數較少，但對控制的精度、平穩性和可靠性要求極高。整個控制架構基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅動器。Dual axis module同時驅動2臺直驅電機，Single axis module驅動1臺升降直流電機。雙軸模塊式驅動器使系統成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發且多點位置數據存儲客制化編碼器接口協議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內部專業的技術支持手臂伸縮機構是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器。

可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。

適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化

能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 手臂自重輕，其啟動和停止的平穩性就好。汕尾進口晶圓運送機械吸臂代理廠家

有X移動，Y移動，Z移動，X轉動，Y轉動，Z轉動六個自由度組成。中山原裝晶圓運送機械吸臂公司

注塑行業機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動剪水口、模內鑲件、模內貼標、模外組裝、整形、分類、堆疊、產品包裝、模具優化等等。且可以對其進行自動控制使其按照預定要求輸送制品或操持工具進行生產操作的自動化生產設備。注塑行業機械臂是為注塑生產自動化專門配備的機械，它可以在減輕繁重的體力勞動、改善勞動條件和安全生產;提高注塑成型機的生產效率、穩定產品質量、降低廢品率、降低生產成本、增強企業的競爭力等方面起到及其重要的作用。 中山原裝晶圓運送機械吸臂公司

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