本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術：

在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

技術實現要素：

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

手臂由靜止狀態達到正常的運動速度為啟動，由常速減到停止不動為制動，速度的變化過程為速度特性曲線。中山進口晶圓運送機械吸臂經銷批發

工業機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置。擬人手臂、手腕和手功能的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態）的時變要求進行移動，從而完成某一工業生產的作業要求。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構件；進行激光切割；噴涂；裝配機械零部件等等。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置。但事實并不是這樣，特別是工業機械臂，與人的外貌往往毫無相似之處。根據國家標準，工業機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復編程、多用途，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器，其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。河源晶圓運送機械吸臂怎么聯系所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。

裝配機械人 ；這燈機械臂要有較高的位姿精度，手腕具有較大的柔性。目前大多用于機電產品的裝配作業。⒌專門用途的機械臂 如醫用護理機械臂、航天用機械臂、探海用機械臂以及排險作業機械臂等。三、按操作機的位置機構形式和自由度數量分類機械臂操作機的位置機構型式是機械臂重要的外形特征，按這一類標準，機械臂可分為直角坐標型，圓柱坐標型，球（極）坐標型、關節型機械臂（或擬人機械臂）。操作機本身的軸數（自由度數）**能反應機械臂的工作能力，也是分類的重要依據。按這一分類要求，機械臂可分為4軸（自由度）、5軸（自由度）、6軸（自由度）、7軸（自由度）等機械臂。還有其它多種分類方式。基本介紹工業設計工業機械人通常由六項基本元素所組成，包括：結構,臂端工具，電腦數碼控制器，驅動器，量度回輸系統和感應器。

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手，該真空吸附機械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率。如剛性差則會引起手臂在垂直平面內的彎曲變形和水平面內側向扭轉變形.

沖床行業機械臂又名沖床行業機械手、沖床沖壓機械手，它是用于沖床行業專門用的機械臂，沖床沖壓機械手能按照預選程序自動完成幾個規定的動作，實現物體的自動夾取和運送。在沖壓生產中，它不僅用于一臺壓力機上完成上下料工作，實現單機自動化，也可以用在由若干臺壓力機組成的流水生產線上，實現各壓力機之間工件的自動傳遞，形成自動沖壓生產線。由于機械手能方便地改變工作程序，因而在經常變換產品品種的中小件沖壓生產中，對于實現生產自動化更具有重要意義。沖床沖壓機械手由執行機構、驅動機構和電氣控制系統等組成。 機械手臂的應用場景有哪些呢？河源晶圓運送機械吸臂怎么聯系

科學家已經研制出了橡膠機器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死。中山進口晶圓運送機械吸臂經銷批發

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩穩地附著在機械手臂上，不易發生平移，這樣不僅可以避免發生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征、方面及其優點將會變得清楚。 中山進口晶圓運送機械吸臂經銷批發

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