進行光刻：

將設計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過多次光刻。而隨著技術革新，極紫光刻出現了，現階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成。

注射：

在真空下，將導電材料注入晶圓的電路內部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 手臂由靜止狀態達到正常的運動速度為啟動，由常速減到停止不動為制動，速度的變化過程為速度特性曲線。中山晶圓運送機械吸臂維修

    建模理論柔性機械臂動力學方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個相當有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機械臂系統建模與控制的基礎。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形，同時變形的描述與系統動力學方程的求解關系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法；2)有限段法；3)模態綜合法；4)集中質量法；動力學方程的建立無論是連續或離散的動力學模型，其建模方法主要基于兩類基本方法：矢量力學法和分析力學法。應用較***同時也是比較成熟的是Newton-Euler公式、Lagrange方程、變分原理、虛位移原理和Kane方程。 新款晶圓運送機械吸臂維修電話在工業制造、醫學***、娛樂服務、***、半導體制造以及太空探索等領域都能見到它的身影。

本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術：

在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

技術實現要素：

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

例如：尋找，運輸，握取，對準，裝配，檢驗等動作. 為了明確地描述工業機械人，美國機械人協會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制，多功能的操作器，它透過程式控制和多變化的動作設計來移動材料，工件，工具或特別設備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業機械人并非有人的形態，但只要它們符合機械人的定義，便可以稱為機械人.工業機械人雖然已被廣泛應用在多種制造行業內，但估計在不久將來還會有數以十萬計的工業機械人投入服務.現時，不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺，令機械人可以完成更復雜的工作.而研究機械人的學問稱為機械人學。手臂一般有3個運動：伸縮、旋轉和升降.

車床行業機械臂又名車床自動上下料機械手、上下料機械手，車床自動上下料機械手主要實現機床制造過程的完全自動化，并采用了集成加工技術，適用于生產線的上下料、工件翻轉、工件轉序等。在國內的機械加工， 很多都是使用專機或人工進行機床上下料的方式， 這在產品比較單一、產能不高的情況下是非常適合的， 但是隨著社會的進步和發展， 科技的日益進步， 產品更新換代加快， 使用專機或人工進行機床上下料就暴露出了很多的不足和弱點， 一方面專機占地面積大結構復雜、維修不便， 不利于自動化流水線的生產；另一方面， 它的柔性不夠， 難以適應日益加快的變化，不利于產品結構的調整；其次， 使用人工會造成勞動強度的增加， 容易產生工傷事故， 效率也比較低下， 且使用人工上下料的產品質量的穩定性不夠， 不能滿足大批量生產的需求。 機械手臂是機械人技術領域中得到*****實際應用的自動化機械裝置.新款晶圓運送機械吸臂維修電話

該機械臂由用戶的頭腦完全控制，靈巧到足以拿起一個玻璃杯，在沒有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料。中山晶圓運送機械吸臂維修

    6)自適應控制。采用組合自適應控制將系統劃分成關節子系統和柔性子系統。利用參數線性化的方法設計自適應控制規則來辨識柔性機械臂的不確定性參數。對具有非線性和參數不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設計?？刂破鞯脑O計是依據Lyapunov方法的魯棒和自適應控制設計。通過狀態轉換將系統分成兩個子系統。用自適應控制和魯棒控制分別對兩個子系統進行控制。7)PID控制。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應用的控制器,由于其簡單、有效、實用,被普遍地用于剛性機械臂控制,常通過調整控制器增益構成自校正PID控制器或與其它控制方法結合構成復合控制系統以改善PID控制器性能。8)變結構控制。變結構控制系統是一種不連續的反饋控制系統,其中滑?？刂剖?*普遍的變結構控制。其特點;在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統對參數變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現象并不依賴于系統參數,具有穩定的性質。變結構控制器的設計,不需要機械臂精確的動態模型,模型參數的邊界就足以構造一個控制器。 中山晶圓運送機械吸臂維修

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