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蘇州激光位移傳感器答疑解惑

來源: 發布時間:2024-07-29

從圖2的鏡頭圖可以看出,第二塊透鏡的半徑很小,主要是為了保證系統在整個工作范圍內得到相對均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內光斑的直徑大小,maximum為0.4mm,在靠近透鏡的一邊,minimun為0.08mm,在55mm處。由于成像系統的入射光是整形部分光經過物體散射回去的,因此整形系統得到的光斑不能太小;同時為了保證精度要求,光斑也不能太大,上面的結果能夠滿足需求。得到好的出射光斑以后,如何接收物體表面的散射光并使其精確成像,是確保激光位移傳感器精度的關鍵問題。在直入射式三角法測量中,物體沿激光入射方向移動,物面并不垂直于成像光軸。那么在透鏡成像過程中(如圖1),由幾何成像公式可證明: tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5]。要想達到理想的成像效果,光電探測器需依此條件放置。激光位移傳感器在3C電子行業中的應用案例。蘇州激光位移傳感器答疑解惑

圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下,被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:-2.1000mm,0.0000mm為物點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-2.1mm,IMA:1.627,0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:0.0000,0.0000mm為物點在弧矢方向無偏離,在子午方向無偏離,IMA:-0.243,0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,在弧矢方向偏離-0.243mm。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下,感光元件接收到的光斑的形狀,OBJ:2.1000,0.0000mm為物點在子午方向無偏離,江蘇激光位移傳感器行情激光技術的應用使得這種傳感器具有高分辨率和高靈敏度,能夠滿足各種精密測量需求。

如權利要求4所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述電子測量儀包括一電子千分表以及一千分表夾持裝置;所述電子千分表夾持在所述千分表夾持裝置上,所述千分表夾持裝置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述橫向蝸桿上。如權利要求1所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述傳感器夾持裝置包括一縱向螺桿以及一夾持器;所述夾持器套設在所述縱向螺桿上,所述激光位移傳感器夾持在所述夾持器上。aaaaaaaaa

激光位移傳感器根據入射光角度的不同可分為直入射式和斜入射式兩種[1],本設計采用的是直入射式,其光路結構如圖1所示。整套光路可以分為兩部分,即整形系統和接收系統[2]。左邊部分是光束整形系統,其作用是將激光器發出的光束匯聚在工作范圍內,使匯聚的光斑盡量小而均勻。光源為半導體激光器(LD),它經整形系統在測量范圍50±10mm內形成均勻的光斑。后面則是光束接收系統,它將物體表面的漫反射光匯聚到光敏探測器上,使其精確成像。圖中α為被測面與成像透鏡光軸夾角,β為光敏探測器與光軸的夾角,do和di分別表示物距和像距。此外,它們通常具有用戶友好的界面和操作方式,使得使用者能夠輕松地進行測量和數據分析。

值得一提的是,針對成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統,拉高S方向的MTF值,降低T方向MTF值的實現方式可以包含以下兩種:(方式1)成像物鏡6自身的S方向MTF值高,而T方向的MTF值低;(方式2)在成像物鏡6的T和S方向的MTF值接近時,在成像物鏡前或后加入能夠引入像散的光學元器件(例如,可以是平板玻璃等),配合微調成像物鏡6與感光元件7之間的相對距離即像距,以達到S方向MTF值高,而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平yh激光位移傳感器是利用激光技術進行測量的傳感器。楊浦區激光位移傳感器答疑解惑

它可以實時監測物體的變形情況,提供及時的預警和反饋。蘇州激光位移傳感器答疑解惑

激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響,為了減小測量誤差,在整形鏡設計中應盡量使出射光斑在有效的測量范圍內實現光斑小且均勻。針對傳感頭小型化設計的要求,半導體激光器體積小、重量輕的優點正好符合這一要求,但其光束質量并不理想,需要對其進行光束整形。半導體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發散角較大,半角的典型值為30~40°,光束呈高斯分布,發光范圍的半寬度為0.6~0.8μm,慢軸發散角的半角典型值為3~6°,光束分布不規則,發光范圍半寬度為50~100μm。因此,在不允許能量損失的情況下,要求整形系統的物方數值孔徑(NA)>0.573;但由于光束的快軸能量呈高斯分布,通常取半寬度(FWHM)為20°,此時NA=0.342。系統物距應盡量小一些,但考慮到工藝問題,不宜過小,選定為2.5mm。為了便于設計,將系統倒置,整個系統的主要要求為:工作波長為785±10nm,像方NA=0.342,像距l′=2.5mm,物距l=40~60mm,焦距f=3~4mm。蘇州激光位移傳感器答疑解惑