在點(diǎn)膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過(guò)視覺(jué)系統(tǒng)檢驗(yàn)。在生產(chǎn)中必須保證點(diǎn)膠路線是連貫和穩(wěn)定的，而通過(guò)色散共焦測(cè)量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)中的很多參數(shù)。膠水小球相對(duì)于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點(diǎn)膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測(cè)出來(lái)。色散共焦測(cè)量就連缺口也能被檢測(cè)到。在3C領(lǐng)域，對(duì)于精密點(diǎn)膠的要求越來(lái)越高，這就要求必須實(shí)時(shí)檢測(cè)膠水高度來(lái)實(shí)現(xiàn)精密點(diǎn)膠的閉環(huán)控制。由于膠水有透明及非透明多種材質(zhì)，并且膠型輪廓較為復(fù)雜，傾斜角度大，傳統(tǒng)激光傳感器無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量出膠水輪廓高度。創(chuàng)視智能探頭擁有的測(cè)量角度 ，可以適用于各種膠水輪廓高度測(cè)量，特別是在圓孔膠高檢測(cè)擁有的優(yōu)勢(shì)。所以目前業(yè)界通用做法，就是采用超大角度光譜共焦傳感器，由于光譜共焦傳感器采用白光，白光是復(fù)合光，總會(huì)有光線可以反射回來(lái)，而且針對(duì)弧面，加大了光筆的反射夾角(45°)，所以才能完美的測(cè)出白色透明點(diǎn)膠的輪廓。光譜共焦技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級(jí)別。國(guó)產(chǎn)光譜共焦行情

采用對(duì)比測(cè)試方法，首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核，為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。結(jié)果得出，二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外，白光共焦光譜的信噪比較原子力低，這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測(cè)量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線中可以看出，在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)，兩種方法的測(cè)量結(jié)果一致性較好，當(dāng)模數(shù)大于100時(shí)，白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù)，這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn)。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個(gè)量級(jí)，同時(shí)，受環(huán)境振動(dòng)、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響，共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右 。工廠光譜共焦答疑解惑光譜共焦技術(shù)在醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用；

本文通過(guò)對(duì)比測(cè)試方法，考核了基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量曲線 ，二者低階輪廓整體相似性高，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測(cè)量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對(duì)較低，只適合測(cè)量靶丸表面低階的輪廓誤差。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線，發(fā)現(xiàn)兩種方法在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)測(cè)量結(jié)果一致性較好，但當(dāng)模數(shù)大于100時(shí)，白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù)，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn)。由于共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)受多種因素影響，高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。

隨著機(jī)械加工水平的進(jìn)步，各種的微小的復(fù)雜工件都需要進(jìn)行精密尺寸測(cè)量與輪廓測(cè)量，例如：小工件內(nèi)壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測(cè)量，對(duì)于某些精密光學(xué)元件可以進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量，避免在接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面，解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測(cè)量難題。一些精密光學(xué)元件也需要進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測(cè)量，以避免接觸測(cè)量時(shí)劃傷光學(xué)表面。這些用傳統(tǒng)傳感器難以解決的測(cè)量難題，均可用光譜共焦傳感器搭建測(cè)量系統(tǒng)以解決。通過(guò)自行塔建的二維納米測(cè)量定位裝置，選用光譜其焦傳感器作為測(cè)頭，實(shí)現(xiàn)測(cè)量超精密零件的二維尺寸，滾針對(duì)渦輪盤輪廓度檢測(cè)的問(wèn)題，利用光譜共焦式位移傳感器使得渦輪盤輪廓度在線檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)能夠得以實(shí)現(xiàn)。與此同時(shí)，在進(jìn)行幾何量的整體測(cè)量過(guò)程中，還需要采取多種不同的方式對(duì)其結(jié)構(gòu)體系進(jìn)行優(yōu)化。從而讓幾何尺寸的測(cè)量更為準(zhǔn)確 。光譜共焦技術(shù)是一種基于共焦顯微鏡原理的成像和分析技術(shù)。

光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合 。白色光源和光譜儀可以完成一個(gè)相對(duì)高度范圍的準(zhǔn)確測(cè)量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測(cè)量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下，產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)。當(dāng)待測(cè)物體放置在檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí)，只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表面并反射回來(lái)，產(chǎn)生波峰信號(hào)。其他波長(zhǎng)將失去對(duì)焦。使用干涉儀的校準(zhǔn)信息可以計(jì)算待測(cè)物體的位置，并創(chuàng)建對(duì)應(yīng)于光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編碼。超色差鏡片通過(guò)提高縱向色差，可以在徑向分離出電子光學(xué)信號(hào)的不同光譜成分，因此是傳感器的關(guān)鍵部件，其設(shè)計(jì)方案非常重要。激光位移傳感器的應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的特定檢測(cè)設(shè)備中。工廠光譜共焦答疑解惑

光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數(shù)的測(cè)量。國(guó)產(chǎn)光譜共焦行情

隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展，對(duì)工業(yè)生產(chǎn)測(cè)量的精度和適應(yīng)性要求越來(lái)越高，需要具有高精度、適應(yīng)性強(qiáng)和實(shí)時(shí)無(wú)損檢測(cè)等特性的位移傳感器。光譜共焦位移傳感器的問(wèn)世解決了這個(gè)問(wèn)題，它是一種非接觸式光電位移傳感器，可達(dá)到亞微米級(jí)甚至更高的測(cè)量精度。傳感器對(duì)于雜光等干擾光線并不敏感，具有較強(qiáng)的抵抗能力，適應(yīng)性強(qiáng)，且具有小型化的特點(diǎn)，應(yīng)用前景廣闊。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一 ，其性能參數(shù)對(duì)于位移傳感器的測(cè)量精度和分辨率具有決定性作用。國(guó)產(chǎn)光譜共焦行情