位于沉孔的開口端,通過粘接固定設置有透光鏡,透光鏡為玻璃材質或塑料材質,透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡,平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護,本實施例中推薦凹透鏡,凹透鏡可以將導光光纖從發光件傳導過來的光發散傳導到探頭外,使光的指示范圍更廣,更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分,包括有上殼體和下殼體,上殼體和下殼體均為圓柱形,上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現可拆卸連接,導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上;而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上,這樣導光光纖傳導從發光件發出來的光時,不可避免的會產生熱量,通過上殼體與下殼體的分開設置,從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產生配合間隙,導光光纖的熱量大部分會傳導到上殼體上,上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產生的形變量,從而減少產生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響,提高探頭精度。光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應用前景。浙江光譜共焦位移傳感器產品原理
傳統的光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統,finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統,finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱,影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發散的,即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠,通過準直透鏡組對反射光進行準直,可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩定性高,在接收平面上能形成穩定的中心,有利于后續對各色光進行色散。石家莊光譜共焦位移傳感器市場價格光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的微小變形進行精確測量,對于研究材料的性能具有重要意義。
本實施例中在探頭殼體的內壁上一體成型設置有鏡座,反光鏡粘接固定設置在所述鏡座上,所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設置。通過鏡座對反光鏡形成穩定支撐,使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°,便于對光線進行反射,使被測物體反射的光線經半透半反光學鏡后轉折90°,到達反光鏡,反光鏡對其轉折90°,使光線順利進入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,準直鏡組固定設置在靠近多色光光源的一側,用于多色光的準直;色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側,用于將多色光分別色散和聚焦,使不同波長的光的焦點沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學鏡射出的光線到達色散鏡頭,先通過準直鏡組對多色光進行準直,使出射光線變成為軸向平行光,軸向平行光到達色散聚焦鏡組,從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長的不同而聚焦在不同的高度,各焦點高度按照波長的順序,沿軸向依次排列。
分光器包括線傳感器和光學系統。光學系統包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數量的情況下,利用少量的組件來執行多點測量該傳感器的優點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。
準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置,且準直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點。這樣,使準直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學系統,進一步減小雜散光。準直鏡組與色散聚焦鏡組結構簡單,易于加工裝配和調整,同時實現準直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數關系的優點;例如,軸向色散與波長產生三次函數關系,有利于加快后續處理數據的運算速度。本實用新型的光譜儀包括有機殼,在機殼中固定設置有棱鏡組,棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,棱鏡組用于對反射光進行色散,在機殼內固定設置有聚焦透鏡組,聚焦透鏡組用于對色散后的光進行聚焦,位于機殼內的所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。松江區光譜共焦位移傳感器品牌企業
該傳感器適用于高分辨率成像系統,例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。浙江光譜共焦位移傳感器產品原理
多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區域假定為測量對象區域的情況下,多個受光區域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區域相對應,其中,該區域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區域。浙江光譜共焦位移傳感器產品原理