入射光纖,接收光纖,多個導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖,接收光纖,多個導光光纖形成通過光源耦合器產生多色光,多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產生對應關系;被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的微小變形進行精確測量,對于研究材料的性能具有重要意義。銷售光譜共焦位移傳感器制作廠家
過去,針對測量待測物體的高度等,已經使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區域(通道)。結果,可以針對多個光學頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.松江區質量光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度和抗振動等優點。
光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創視智
激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現代技術的發展,激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段,并可以通過與計算機及應用軟件配合實現測量數據實時處理,為工業生產制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點,廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中,國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。該傳感器適用于光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統中的位移測量。
準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置,且準直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點。這樣,使準直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學系統,進一步減小雜散光。準直鏡組與色散聚焦鏡組結構簡單,易于加工裝配和調整,同時實現準直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數關系的優點;例如,軸向色散與波長產生三次函數關系,有利于加快后續處理數據的運算速度。本實用新型的光譜儀包括有機殼,在機殼中固定設置有棱鏡組,棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上,棱鏡組用于對反射光進行色散,在機殼內固定設置有聚焦透鏡組,聚焦透鏡組用于對色散后的光進行聚焦,位于機殼內的所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、半導體制造和生物醫學等領域中的精密測量的準確性。什么樣光譜共焦位移傳感器技術指導
該傳感器可用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域的精密測量。銷售光譜共焦位移傳感器制作廠家
傳統的光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統,finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統,finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱,影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發散的,即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠,通過準直透鏡組對反射光進行準直,可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩定性高,在接收平面上能形成穩定的中心,有利于后續對各色光進行色散。銷售光譜共焦位移傳感器制作廠家