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廣州激光位移傳感器的用途和特點

來源: 發布時間:2024-07-14

所述微調裝置2包括一蝸輪蝸桿機構21、一電子測量儀22以及一微調平臺23;所述微調平臺23設于所述電動伸縮雙直線導軌11上端的尾部,所述微調平臺23的末端向上設有一延伸部231;所述蝸輪蝸桿機構21設于所述微調平臺23的前端;所述電子測量儀22的一端抵接于所述延伸部231,另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構21。所述蝸輪蝸桿機構21包括一橫向蝸桿211、一蝸輪(未圖示)以及一位移調節把手212;所述橫向蝸桿211的一端與所述激光紅外線接收擋板5的背面固接,另一端與所述電子測量儀22抵接;所述位移調節把手212與所述蝸輪固接;當旋轉所述位移調節把手212時通過所述蝸輪聯動所述橫向蝸桿211進行橫向位移。高精度激光位移傳感器具有較高的精確度,能夠滿足精密測量的需求。廣州激光位移傳感器的用途和特點

通過將反光元件設置在成像物鏡與感光元件之間,能夠減小激光位移傳感器的設備體積,便于激光位移傳感器的使用和安裝;通過采用線陣感光元件,能夠降低激光位移傳感器的成本;另外,由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列,所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低,并不會影響測量精度,還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收;通過采用帶通濾光片,能夠濾除或降低雜散光,避免激光位移傳感器收到干擾,保證測量的準確度。廣州激光位移傳感器的用途和特點它可以實時監測物體的變形情況,提供及時的預警和反饋。

在一個實施例中,激光位移傳感器通過調整成像物鏡6與感光元件7之間的距離,在空間頻率為62.5lp/mm處,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS為量程內被測點在S方向的MTF值,MTFT為量程內被測點在T方向的MTF值,曲線1為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值,曲線2為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值;曲線3為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線4為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值;曲線5為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線6為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中,在弧矢方向內,向光軸以里偏離為正,向光軸以外偏離為負)。在一具體實施例中,在空間頻率為62.5lp/mm處,量程內被測點的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。類似地,在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下,同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。

加工-測量-再加工-再測量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測不僅包括非球面表面形狀的檢測,還包括非球面中心偏差的測量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內小于1μm。受現有冷加工工藝、車床運動誤差、磨削力變形及檢測誤差的限制,加工的非球面光學元件會產生一些質量缺陷,無法保證跨尺度的產品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數滿足設計精度要求,往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測信息進行多誤差校正和補償加工。高精度激光位移傳感器可以用于測量液體的位移,如液位的變化等。

根據本發明實施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中,該激光位移傳感器用于對被測物體4進行測量。在圖1所示的結構中,省略了激光位移傳感器的外殼。實際上,上述窗口玻璃3可以設置在激光位移傳感器的外殼上,供激光器所發出的光通過。激光位移傳感器的工作過程如下:由激光二極管1發射的激光束通過聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后,照射在被測物體4的表面形成一個測量光斑,激光束可以垂直入射到被測物體4表面(即垂直入射),也可與被測物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測量光斑由成像物鏡6成像,并在感光元件7形成測量信號。它可以實時測量物體的位移,并提供高精度的測量結果。珠海激光位移傳感器市場價格

激光位移傳感器可以實現微米級的位移測量。廣州激光位移傳感器的用途和特點

本發明涉及光學測量領域,并且特別地,涉及一種激光位移傳感器;光學傳感器是依據光學原理進行測量的儀器,這類傳感器有許多優點,例如,能夠實現非接觸和非破壞性測量、測量幾乎不受干擾、能夠實現高速傳輸以及可遙測、遙控、可實時處理等優點。光學傳感器包括很多類型,其中,以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器是一種利用激光為光源、將CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,互補金屬氧化物半導體)或者CCD(Charge-coupledDevice,電荷耦合元件)傳感器作為接收器的精密測量儀器。這種傳感器能夠在非接觸的情況下精確測量被測物體的位置、位移等變化,并且能夠被應用于檢測物體的位移、厚度、振動、距離、直徑等幾何量的測量。廣州激光位移傳感器的用途和特點