本實用新型涉及光電精密測量領域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術產業飛速發展,對產品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進行高效率、高精度的檢測,將直接關系到產品的質量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優點。紹興光譜共焦位移傳感器生產廠家哪家好
1.光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA905插頭與所述盒體相連。2.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽內,且與所述限位槽相匹配,所述套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔。3.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡的凸面側朝內對稱設置。4.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:兩個所述雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。哈爾濱光譜共焦位移傳感器誠信合作它可以實現對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質具有重要意義。
Preferencyly,在本實施例中發光件設置有2個,在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發光件以減少發熱對探頭的影響,發光件左右對稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導光光纖也設置有2個,分別通過插槽3400與發光件連接,兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置,發光件發出的指示光能通過導光光纖的傳導,從各個方向射出,使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創視智能技術創視智能技術
6.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機殼,固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。該傳感器可用于微納制造、生物醫學、半導體制造等領域中的精密測量。
發光件和導光光纖的入光端之間,固定設置有濾光片,濾光片固定設置在發光件和導光光纖之間,濾光片用于過濾紅外線,以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時,使探頭殼體發熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔,連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部,且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接;這樣,通過沉孔的設置,在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓,避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖,從而影響影響導光光纖,或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進行測量。長春光譜共焦位移傳感器定做價格
該傳感器可以與其他測量設備相結合,實現多參數的綜合測量。紹興光譜共焦位移傳感器生產廠家哪家好
上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面,探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,準直鏡組設置在多色光光源的一側,用于多色光源的準直;色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側,用于將多色光分別聚焦,并產生軸向色散。光譜儀包括有機殼,固定設置在機殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。紹興光譜共焦位移傳感器生產廠家哪家好