在一個實施例中,激光位移傳感器通過調整成像物鏡6與感光元件7之間的距離,在空間頻率為62.5lp/mm處,MTFS大于10倍的MTFT,其中,MTFS為量程內被測點在S方向的MTF值,MTFT為量程內被測點在T方向的MTF值,曲線1為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值,曲線2為物點在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值;曲線3為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線4為物點在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值;曲線5為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值;曲線6為物點在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中,在弧矢方向內,向光軸以里偏離為正,向光軸以外偏離為負)。在一具體實施例中,在空間頻率為62.5lp/mm處,量程內被測點的MTFS≥0.5,MTFT<0.05。類似地,在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下,同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。激光位移傳感器可精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化。蕪湖激光位移傳感器
本實用新型要解決的技術問題,在于提供一種激光位移傳感器檢驗校準裝置,通過該裝置來提高檢驗的精度,減小設備尺寸節約空間。本實用新型是這樣實現的:一種激光位移傳感器檢驗校準裝置,包括一可伸縮導軌、一微調裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板;所述微調裝置和傳感器夾持裝置設于所述可伸縮導軌的上端;所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上,且使所述激光位移傳感器的激光發射端朝向所述微調裝置;所述激光紅外線接收擋板與所述微調裝置固接,且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。蕪湖激光位移傳感器這種傳感器可以用于測量物體的表面粗糙度,以評估其質量。
帶通濾光片,設置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡,設置于激光器的出射光路上。可選地,上述感光元件為線陣感光元件,線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列,該直線的延伸方向為多個感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件,面陣感光元件包括以矩形排列的多個感光單元,面陣感光元件的長邊延伸方向為多個感光單元的主要排列方向。此外,上述成像物鏡可以為單一鏡片,且成像物鏡的物側面和像側面皆為非球面;或者,成像物鏡為多個透鏡組成的透鏡組。
如權利要求1所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述可伸縮導軌包括一電動伸縮雙直線導軌、一number one支撐件、一第二支撐件、一滑動輪、一伸縮制動開關以及一控制面板;所述number one支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導軌固定端的底部,所述第二支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導軌可伸縮端的底部;所述滑動輪設于所述第二支撐件的底部;所述伸縮制動開關設于所述第二支撐件的側面;所述控制面板與所述電動伸縮雙直線導軌電連接。高精度激光位移傳感器采用激光技術,能夠實現非常精確的位移測量。
如權利要求2所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述微調裝置包括一蝸輪蝸桿機構、一電子測量儀以及一微調平臺;所述微調平臺設于所述電動伸縮雙直線導軌上端的尾部,所述微調平臺的末端向上設有一延伸部;所述蝸輪蝸桿機構設于所述微調平臺的前端;所述電子測量儀的一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機構。如權利要求3所述的激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:所述蝸輪蝸桿機構包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調節把手;所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接,另一端與所述電子測量儀抵接;所述位移調節把手與所述蝸輪的中心固接。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學測量儀器,能夠實現非接觸式的表面形貌測量。長寧區激光位移傳感器品牌企業
激光位移傳感器在精密制造行業中的應用案例。蕪湖激光位移傳感器
加工-測量-再加工-再測量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測不僅包括非球面表面形狀的檢測,還包括非球面中心偏差的測量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內小于1μm。受現有冷加工工藝、車床運動誤差、磨削力變形及檢測誤差的限制,加工的非球面光學元件會產生一些質量缺陷,無法保證跨尺度的產品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數滿足設計精度要求,往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測信息進行多誤差校正和補償加工。蕪湖激光位移傳感器