入射光纖，接收光纖，多個導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖，接收光纖，多個導光光纖形成通過光源耦合器產生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產生對應關系；被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸到光譜儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；該傳感器適用于高分辨率成像系統，例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。如何光譜共焦位移傳感器常見問題

傳統的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長不同，其橫向偏移不相等，導致多色光的光軸發生分離，經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個系統產生較大誤差，難以保證整個系統的測量精度。因此，本方案采用的半透半反光學鏡2300實現所有多色光的波長共光軸，不發生光軸偏移，即發射光線和接收光線沿光軸完全對稱，而且沒有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時其結構簡單，提高機械結構的可加工性。哈爾濱光譜共焦位移傳感器24小時服務該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。

機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。

本發明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點的位置該傳感器可被應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。

8.根據權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，所述光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發光件，所述發光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上，所述導光光纖用于傳導所述發光件所發出的提示光。10.根據權利要求9所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述入射光纖，接收光纖，導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。該傳感器的優點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。常州高精度光譜共焦位移傳感器

光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應用前景。如何光譜共焦位移傳感器常見問題

Preferencyly，在本實施例中發光件設置有2個，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發光件以減少發熱對探頭的影響，發光件左右對稱布置在光源耦合器中，通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導光光纖也設置有2個，分別通過插槽3400與發光件連接，兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置，發光件發出的指示光能通過導光光纖的傳導，從各個方向射出，使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創視智能技術創視智能技術如何光譜共焦位移傳感器常見問題