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北京本地光譜共焦位移傳感器

來源: 發布時間:2024-06-22

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面,探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,準直鏡組設置在多色光光源的一側,用于多色光源的準直;色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側,用于將多色光分別聚焦,并產生軸向色散。光譜儀包括有機殼,固定設置在機殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。北京本地光譜共焦位移傳感器

易于想到的是,發光件還可設置為發射多色光,如當被測物體放置在efficient測量區域但不是best位置時,發光件發出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設置有導光光纖,導光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導光光纖的入光端正對發光件的發光面,探頭殼體上開設有插槽,導光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側壁上,導光光纖用于將光源耦合器中的發光件發出的光傳導到探頭殼體的側壁,從而實現提示光從探頭殼體的側壁上發出,當手握探頭殼體進行位置測量時,方便人眼獲取探頭殼體上發出的指示光,通過指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態。湖州認可光譜共焦位移傳感器該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。

機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣,通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向,從而充分利用上下空間,使原有的水平光路變換為上下光路,使光譜儀的長度變短,有利于光譜儀小型化和便攜化。

被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現光譜共焦測量位移的過程,通過光譜共焦工作原理,避免激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。它可以應用于材料的力學性能測試、微納加工、光學元件的制造等多個領域。

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優先采用圓柱形殼體,用于對探頭內的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護,易于想到的是,探頭殼體可設置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內固定設置有半透半反光學鏡,半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現一半透射而一半反射,而當透射的光線經過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上,半透半反光學鏡對反射光進行一半透射,一半反射;光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優點。常州光譜共焦位移傳感器設備生產

該傳感器的應用將有助于提高微納制造、半導體制造和生物醫學等領域中的精密測量的準確性。北京本地光譜共焦位移傳感器

進一步,光譜共焦位移傳感探頭包括有:探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接; 半透半反光學鏡,半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方;反光鏡,反光鏡固定設置在探頭殼體的內側壁上,反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發出的反射光,接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步,半透半反光學鏡包括有上三棱鏡,與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡,膠合面鍍有半透半反膜,半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置,上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。北京本地光譜共焦位移傳感器