傳統的光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統,finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中,還可采用光柵進行分光,與棱鏡組相比,光柵分光的光能量損失較大,對于光譜共焦系統,finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱,影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發散的,即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠,通過準直透鏡組對反射光進行準直,可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩定性高,在接收平面上能形成穩定的中心,有利于后續對各色光進行色散。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、半導體制造和生物醫學等領域中的精密測量的準確性。質量光譜共焦位移傳感器性價比高
本實用新型解決的技術問題在于,針對現有技術的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光;北京光譜共焦位移傳感器定做價格該傳感器利用光路中的光譜信息實現對位移的測量。
被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰反推出被測物體的位移,實現利用光譜共焦原理測量位移的過程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。
光譜共焦位移傳感器系統中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,聚焦透鏡組與感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使從上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。
機殼設置有兩層,聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,感光元件位于機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡,光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣,通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向,從而充分利用上下空間,使原有的水平光路變換為上下光路,使光譜儀的長度變短,有利于光譜儀小型化和便攜化。光譜共焦位移傳感器可以實時監測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。杭州國產光譜共焦位移傳感器
光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學測量技術,可以實現高精度的位移測量。質量光譜共焦位移傳感器性價比高
如圖1至圖3所示,為本實用新型光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源1、Y型光纖2、光譜共焦透鏡組3、共焦小孔6和光譜儀5組成,鹵素燈光源1連接Y型光纖2,鹵素燈光源1的光譜波段范圍為360nm~2500nm,光譜儀5通過共焦小孔6連接Y型光纖2-端,型光纖2另一端連接光譜共焦透鏡組3,光譜共焦透鏡組3包括盒蓋、盒體7、兩個雙凸球面鏡9、套筒12和一個彎月透鏡11,盒體7內設置有光路通道8、限位槽13和透光孔10,光路通道8位于限位槽13和透光孔10之間,光路通道8上從左往右依次設置有兩個相互平行的一號卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡9分別限位在兩個一號卡槽內,兩個雙凸球面鏡9的凸面側朝內對稱設置,兩個雙凸球面鏡9之間的間距為2.5~5.5mm,彎月透鏡11限位在第二卡槽內,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm,Y型光纖2通過SMA905插頭4與盒體7相連,套簡12限位在限位槽13內,且與限位槽13相匹配,套筒12上設置有用于光纖連接的螺紋孔。質量光譜共焦位移傳感器性價比高