6.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機殼,固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組,所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,能夠達到亞微米級的高精度。新品光譜共焦位移傳感器找哪家
本實用新型目的在于針對現有技術所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統的技術方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結構簡單,使用方便,具有較強的實用性,實現了傳感器探頭的小型化,光源發射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。為了解決上述技術問題,本實用新型采用如下技術方案:光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個number one卡槽內,彎月透鏡限位在第二卡槽內,Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連。沈陽光譜共焦位移傳感器該傳感器可應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。
光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件,提示組件包括有:發光件,發光件設置在光源耦合器中;導光光纖,所述導光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上,所述導光光纖用于傳導發光件所發出的提示光。進一步,入射光纖,接收光纖,導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。采用上述方案的有益效果是:本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內,通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產生對應關系;
易于想到的是,發光件還可設置為發射多色光,如當被測物體放置在efficient測量區域但不是best位置時,發光件發出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設置有導光光纖,導光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中,preference的連接方式為導光光纖的入光端正對發光件的發光面,探頭殼體上開設有插槽,導光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側壁上,導光光纖用于將光源耦合器中的發光件發出的光傳導到探頭殼體的側壁,從而實現提示光從探頭殼體的側壁上發出,當手握探頭殼體進行位置測量時,方便人眼獲取探頭殼體上發出的指示光,通過指示光的不同顏色,從而判斷物體的擺放位置的狀態。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的非接觸式位移傳感器。
為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚、明確,以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器1000,所述光源耦合器1000包括有用于產生多色光的多色光光源1100;多色光光源1100可使用激光熒光系統,也可使用LED燈發光照射熒光粉產生白光,還可以是LED燈直接產生白光,光源耦合器1000產生的光能可以適當調節,同時通過反饋控制實現光源耦合器1000產生持續的、亮度恒定不變的多色光,從而使光能量和測量更加穩定;光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進行過濾,避免進入其他部件而造成熱變形,因此,對整體系統的性能有改善作用。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應用前景。湖州光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家
該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。新品光譜共焦位移傳感器找哪家
本實用新型的工作原理如下:1)鹵素燈光源發出的光,通過Y型光纖后,一端經光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y型光纖的另一端,單色光到達共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進入光譜儀,采集光譜信息;并通過調整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進行光強的歸一化處理,并對原始的光譜數據進行去噪平滑等預處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法來進行峰譜定位,高斯函數的峰值位置為其一階導數的零點,可以認為找到了高斯函數的一階導數零點就找到了高斯函數的峰譜位置。4)利用超精密的運動控制臺,來標定不同位置對應的光譜譜峰值,找出一一對應關系;標定完成后,通過讀取軟件上峰譜值的大小,就可以測出被測物離光源的精確位置。以上only為本實用新型的具體實施例,但本實用新型的技術特征并不局限于此。任何以本實用新型為基礎,為實現基本相同的技術效果,所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等。新品光譜共焦位移傳感器找哪家