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有哪些光譜共焦應用

來源: 發布時間:2024-05-14

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學測量儀器,主要應用于工業生產、科學研究和質量控制等領域。特別是在工業制造中,比如汽車工業的發動機制造領域,氣缸內壁的精度對發動機的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實現非接觸式測量,提供高精度和高分辨率的數據,制造商得以更好地掌握產品質量并提高生產效率。它利用激光共焦成像原理,能夠準確測量金屬內壁表面形貌,包括凹凸、微觀結構和表面粗糙度等參數。這些數據對保證發動機氣缸內壁的精密性和一致性非常重要 ,從而保障發動機性能和長期可靠性。此外,在科學研究領域,光譜共焦位移傳感器也扮演關鍵角色,幫助研究者進一步了解各種材料的微觀特性和表面形態,推動材料科學、工程技術進步和開發創新應用。國內外已經有很多光譜共焦技術的研究成果發表。有哪些光譜共焦應用

光譜共焦技術是一種高精度、非接觸的光學測量技術,將軸向距離與波長的對應關系建立了一套編碼規則。作為一種亞微米級、迅速精確測量的傳感器,基于光譜共焦技術的傳感器已廣應用于表面微觀形狀 、厚度測量、位移測量、在線監控和過程管控等工業測量領域。隨著光譜共焦傳感技術的不斷發展,它在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量測量和其他領域的應用將會更加廣。光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發展而來,無需軸向掃描,可以直接利用波長對應軸向距離信息,大幅提高測量速度。有哪些光譜共焦應用光譜共焦技術的研究對于相關行業的發展具有重要意義。

光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產生一系列連續而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產生波峰信號。其他波長將失去對焦 。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置,并創建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分,因此是傳感器的關鍵部件,其設計方案非常重要。

在容器玻璃的生產過程中,瓶子的圓度和壁厚是重要的質量特征。因此,必須檢查這些參數。任何有缺陷的容器都會立即被拒絕并返回到玻璃熔體中。高處理速度與防止損壞瓶子的需要相結合,需要快速的非接觸式測量程序。而光譜共焦傳感器適合這項測量任務。該系統在兩個點上同步測量。數據通過 EtherCAT 接口實時輸出,厚度校準功能允許在傳感器的整個測量范圍內進行精確的厚度測量。無論玻璃顏色如何 ,自動曝光控制都可以實現穩定的測量。光譜共焦位移傳感器可以實時監測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。

光譜共焦測量原理通過使用多透鏡光學系統將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀,該光譜儀檢測并處理光譜變化。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用共焦彩色原理進行測量。共焦測量提供納米分辨率并且幾乎與目標材料分開運行。在傳感器的測量范圍內實現了一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內表面 ,以及測量窄孔、小間隙和空腔。光譜共焦技術在生物醫學、材料科學、環境監測等領域有著廣泛的應用。自動測量內徑光譜共焦技術

光譜共焦技術的應用將有助于推動中國科技創新的發展。有哪些光譜共焦應用

主要是對光譜共焦傳感器的校準后的誤差進行分析。各自利用干涉儀與高精密測長機對光譜共焦傳感器開展測量,用曲面測針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測針,以確保光譜共焦傳感器在測量時安裝精密度,隨后拆換平面圖歪頭,對光譜共焦傳感器開展校準。用小二乘法對測量數據進行解決,獲得測量數據庫的離散系統誤差。結果顯示:高精密測長機校準后的離散系統誤差為 0.030%,激光器于涉儀校準時的分析線形誤差為0.038% 。利用小二乘法開展數據處理方法及離散系統誤差的計算,減少校準時產生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統誤差,提高對光譜共焦傳感器的校準精密度。有哪些光譜共焦應用