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氧化鋯以其優(yōu)異的高溫物理和力學(xué)性能而得到廣泛應(yīng)用，尤其被用于苛刻條件下使用的關(guān)鍵部件。由于氧化鋯的導(dǎo)熱性能低、熱膨脹系數(shù)大，因此氧化鋯制品的熱穩(wěn)定性較差。但采用部分穩(wěn)定氧化鋯原料制得的制品晶型組成的氧化鋯原料制得的陶瓷制品的熱穩(wěn)定性比較好。因此制造...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨(dú)特的優(yōu)勢。以下是其中的三個(gè)主要方面：1.高耐久性：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因?yàn)樘沾刹牧系挠捕雀撸瘜W(xué)穩(wěn)定性好，抗腐蝕性能強(qiáng)。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...

綜上所述，由于氧化鋯陶瓷自身有著諸多***的特點(diǎn)，所以近些年來，利用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品也是深受大家的青睞。使用氧化鋯陶瓷加工而成的產(chǎn)品，由于其穩(wěn)定性非常好，大家完全可以放心使用。關(guān)鍵詞用氧化鋯陶瓷呈白色，含雜質(zhì)時(shí)呈黃色或灰色，一般含有HfO2...

氧化鋯陶瓷具 隨著社會(huì)不斷的發(fā)展，在結(jié)構(gòu)陶瓷方面，由于氧化鋯陶瓷具有高韌性、高抗彎強(qiáng)度和高耐磨性，優(yōu)異的隔熱性能，熱膨脹系數(shù)接近于鋼等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)陶瓷領(lǐng)域。那么氧化鋯陶瓷可以應(yīng)用在哪些方面呢？ 一、耐火材料 氧化鋯陶瓷的化學(xué)...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

D、加壓速度和保壓時(shí)間加壓速度和保壓時(shí)間控制不好也會(huì)造成氧化鋯坯體出現(xiàn)分層等缺點(diǎn)。壓模下落的速度應(yīng)緩慢一些，如加壓速度過快，則坯體中氣體不易排出，從而導(dǎo)致坯體出現(xiàn)分層，表面致密而中間松散，以及存在氣泡等現(xiàn)象。如保壓時(shí)間過短，則壓力還未傳到應(yīng)有的深度...

輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個(gè)以上的自由度。這種機(jī)械手典型地由兩個(gè)連桿和手部構(gòu)成。在本說明書中，將兩個(gè)連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地，上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前...

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間...

機(jī)械臂的工作原理： 一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)（如臺(tái)虎鉗）、斜鍥壓緊、 導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)（破碎機(jī)常用）、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)（如抓磚頭的）等等。還有簡單的：如可用氣（液壓）缸直接夾緊的。如果是小物品，可直接購買FEST...

工業(yè)精密陶瓷件高性能氧化鋯陶瓷柱塞的開發(fā)和應(yīng)用，延長了石油開采設(shè)備中重要部件的使用壽命，有效減少了停泵和檢泵作業(yè)次數(shù)，將產(chǎn)生巨大的經(jīng)濟(jì)效益。陶瓷柱塞在稠油開采中具有廣闊的前景和應(yīng)用價(jià)值。 工業(yè)精密陶瓷件陶瓷柱塞作為結(jié)構(gòu)陶瓷產(chǎn)品的成熟產(chǎn)品，工業(yè)精密陶瓷...

微孔陶瓷簡介 性能 (1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分，開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用，而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。 (2)...

深圳市德澳美精密制造有限公司工廠生產(chǎn)加工陶瓷手臂已經(jīng)有7年歷史，可以加工各種規(guī)格陶瓷手臂，適用于2寸，4寸，6寸，8寸，12寸。根據(jù)客戶圖紙加工，也可以來樣加工，**代為設(shè)計(jì)。加工周期一般為3天。 氧化鋯陶瓷產(chǎn)品主要包括：陶瓷軸、氧化鋯陶瓷PIN、塞...

半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上...

與剛性機(jī)械臂相比較，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確，有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件...

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化，并經(jīng)蒸餾后...

2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機(jī)械振動(dòng)等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐，陶瓷燒成窯...

真空吸盤要求高孔隙率，超微細(xì)孔徑的場合，F(xiàn)ountyl微孔陶瓷正空吸盤，孔大小在30微米到60微米的范圍。微孔陶瓷的結(jié)構(gòu)形狀有很多種，都是由無數(shù)不同規(guī)格的硅酸鋁瓷質(zhì)顆粒**而成，**時(shí)不同規(guī)則地形成了幾十微米到0.1微米的自由空隙，經(jīng)過摻入高溫（１5００℃）的...

一、陶瓷的增韌方法目前，陶瓷的增韌方法主要有：相變?cè)鲰g、顆粒增韌、纖維增韌、自增韌、彌散韌化、協(xié)同增韌、納米增韌等。1、相變?cè)鲰g相變?cè)鲰g是指亞穩(wěn)定四方相t—ZrO2在裂紋前列應(yīng)力場的作用下發(fā)生一相變，形成單斜相，產(chǎn)生體積膨脹，從而對(duì)裂紋形成壓應(yīng)力，...

納米技術(shù)的出現(xiàn)以及納 米粉體的工業(yè)化生產(chǎn),使得制備金屬陶瓷刀成為現(xiàn)實(shí)。 精密陶瓷刀的硬度非常大，工業(yè)上部分用于切割金屬，甚至可以用來切割鋼鐵。結(jié)構(gòu)陶瓷作為一種新型精密陶瓷材料，這是一塊陶瓷刀片。其獨(dú)特的性能打破了人們對(duì)陶瓷的激進(jìn)印象，正在逐漸 版得到...

高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用***用于平坦，無孔...

4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用**多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后，在Ar氣條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)溫度一般為1300～1500 ℃ ，反應(yīng)時(shí)間為2～4h，制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...

7、復(fù)合增韌復(fù)合增韌是指在ZrO2陶瓷實(shí)際增韌過程中同時(shí)采用幾種增韌機(jī)理，從而提高ZrO2陶瓷增韌效果。在實(shí)際應(yīng)用過程中，根據(jù)所要制備氧化鋯陶瓷材料的不同性能，來選擇具體的增韌機(jī)理。8、納米增韌目前，納米增韌主要有三種學(xué)術(shù)觀點(diǎn)，即：細(xì)化理論，穿晶理...

二、燒成 氧化鋯在不同溫度下，存在著三種同質(zhì)異形體，即立方晶系、單斜晶系和四方晶系。氧化鋯晶形的轉(zhuǎn)變溫度如下： 由單斜晶系轉(zhuǎn)化為四方晶系時(shí)伴有7％左右的體積變化。加熱時(shí)由單斜一氧化鋯轉(zhuǎn)變?yōu)樗姆揭谎趸啺l(fā)生體積收縮；冷卻時(shí)由四方一氧化鋯轉(zhuǎn)...

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái)；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于...

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)...

一、成型氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷的成型方法目前用得較多的有三種：熱壓鑄成型、干壓成型和等靜壓成型。1、熱壓鑄成型對(duì)于氧化鋯結(jié)構(gòu)陶瓷小型產(chǎn)品或形狀復(fù)雜的產(chǎn)品。一般采用熱壓鑄成型方法。該成型方法比較簡單，特別適宜于生產(chǎn)批量大或形狀復(fù)雜的中小型產(chǎn)品。但氧化鋯熱壓鑄...

二、燒成 氧化鋯在不同溫度下，存在著三種同質(zhì)異形體，即立方晶系、單斜晶系和四方晶系。氧化鋯晶形的轉(zhuǎn)變溫度如下： 由單斜晶系轉(zhuǎn)化為四方晶系時(shí)伴有7％左右的體積變化。加熱時(shí)由單斜一氧化鋯轉(zhuǎn)變?yōu)樗姆揭谎趸啺l(fā)生體積收縮；冷卻時(shí)由四方一氧化鋯轉(zhuǎn)...

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的應(yīng)用非常廣，主要包括以下幾個(gè)方面：晶圓生產(chǎn)線：在晶圓生產(chǎn)線上，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂被廣泛應(yīng)用于晶圓的裝載和卸載過程。它能夠?qū)⒕A從載體上吸附起來，并將其準(zhǔn)確地運(yùn)送到目標(biāo)位置，以完成各種工序，如清洗、切割、涂覆等。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的高精度和穩(wěn)定性能...

整個(gè)蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制。2臺(tái)直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺(tái)直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)機(jī)械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少，但對(duì)控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個(gè)控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對(duì)客戶的需求...

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化，并經(jīng)蒸餾后...