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12、伸縮桿；13、圓環塊；14、連接桿；15、回流管；16、增壓泵；17、一號排液管；18、一號電磁閥；19、抽氣泵；20、排氣管；21、集氣箱；22、二號排液管；23、二號電磁閥；24、傾斜板；25、活動板；26、蓄水箱；27、進水管；28、抽水管；29、三號電磁閥；30、控制面板。具體實施方式下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。請參閱圖1-5，本發明提供一種技術方...

該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等，且該上孔徑a1小于該下孔徑a2，或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮，以維持毛細現象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時，該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動，并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示)，除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現象，亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸...

注入量精確調配裝置通過嵌入引流口2接入鹽酸裝罐7進行原料注入，工作人員通過負壓引流器21將鹽酸硝酸引向注入量控制容器18內，通過觀察注入量控制容器18內的注入量觀察刻度線19對注入量進行精確控制，當到達設定的注入量時將限流銷20插入進行限流即可，很好的對注入量進行精確控制，提高了該裝置的制備純度。工作原理：首先，通過設置熱水流入漏斗9，工作人員可沿著熱水流入漏斗9將熱水緩緩倒入鹽酸內，從而很好的減小了發生反應的劇烈程度，很好的起到了保護作用。然后，通過設置加固支架10，加固支架10為連接在兩側底座支柱的三角結構，利用三角結構穩定原理對裝置底座5起到了很好的加固效果。接著，通過設置防燙隔...

以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部，該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41，以及一設置于該基板20下方的第二風刀42，其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20，以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向，以使該基板20上該藥液51減少，其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3，且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外，請一并參閱圖8與圖9所示，為本實用新型蝕...

影響ITO堿性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素：1、Cu2+離子濃度的影響：Cu2+是氧化劑，所以Cu2+的濃度是影響蝕刻速率的主要因素。研究銅濃度與蝕刻速率的關系表明：在0~82g/L時，蝕刻時間長；在82~120g/L時，蝕刻速率較低，且溶液控制困難；在135~165g/L時，蝕刻速率高且溶液穩定；在165~225g/L時，溶液不穩定，趨向于產生沉淀。2、氯化銨含量的影響：通過蝕刻再生的化學反應可以看出：[Cu（NH3）2]+的再生需要有過量的NH3和NH4Cl存在，如果溶液中缺乏NH4Cl，大量的[Cu（NH3）2]+得不到再生，蝕刻速率就會降低，以致失去蝕刻能力。所以，氯化銨的含量對蝕刻速率...

一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域，具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術：2.目前，電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜，以便后續給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中，對于多晶ito(p-ito)材料，所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低，但其蝕刻速度快，蝕刻的角度難以控制，且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素：3.有鑒于此，為克服目前存在的技術難題，本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。...

并利用水滴的表面張力現象防止水滴由該復數個宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異?，F象，確實達到保有原始擋液板的擋液效果，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導致該基板20刮傷或破片風險等主要優勢。該蝕刻設備1可進一步設置有一噴灑裝置50，該噴灑裝置50設置于該擋液板結構10的一端部，且該基板20設置于該擋液板結構10的下方約8毫米至15毫米之間，其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上，以對該基板20進行一濕式蝕刻制程；由上述的說明，擋液板結構10的設置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續對已經完成蝕刻步驟的基板20再進行蝕刻制程，故仍舊會有少量的藥液51噴灑...

可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比。(b)硅烷系偶聯劑本發明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時使用。上述硅烷系偶聯劑推薦使上述硅烷系偶聯劑的反應位點(activesite)的數量除以上述硅烷系偶聯劑的水解(hydrolysis)了的形態的分子量之后乘以，更推薦滿足。上述硅烷系偶聯劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount，e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。上述硅烷系偶聯劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、雙(三...

很好的對注入量進行精確控制，提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實用新型的整體示意圖；圖2為本實用新型的a處放大示意圖；圖3為本實用新型的b處放大示意圖；圖4為本實用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖。圖中：1、制備裝置主體，2、高效攪拌裝置，3、過濾除雜裝置，4、翻折觀察板，401、觀察窗翻折滾輪，402、內嵌觀察窗，5、裝置底座，6、成品罐，7、鹽酸裝罐，8、硝酸裝罐，9、熱水流入漏斗，10、加固支架，11、防燙隔膜，12、旋轉搖勻轉盤，13、運轉電機組，14、震蕩彈簧件，15、控制面板，16、致密防腐桿，17、攪動孔，18、注入量控制容器，19、注入量觀察刻度線，20、限...

圖7：本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構運作局部放大圖。圖8：本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖9：本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10：本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖11：本實用新型蝕刻設備其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖12：本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13：本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明：傳統擋液板結構a擋液板結構b風刀c氣體本實用新型1蝕刻設備10擋液板結構11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211**...

為本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，在本實用新型其二較佳實施例中，開設于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態樣，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離，例如：圖4中所示的w1，其中w1大于圖3的w或圖5的w2，其中w2大于w，而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現象，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現時，則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道，以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外，請參閱圖6與圖7所示...

且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置，連接構件，連接構件設置在攪拌倉的底部，連接構件與攪拌倉固定連接，連接構件能將裝置主體內部的兩個構件進行連接并固定，且在將兩構件進行連接或拆卸的時候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖；圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖；圖3為本實用新型的連接構件剖視圖；圖4為本實用新型的內部構件連接框架圖。圖中：1、裝置主體，2、支撐腿，3、電源線，4、單片機，5、控制器，6、防滑紋，7、密封閥門(z45x-16...

通過滑動蓋24上的凸塊在過濾部件9內部頂端內壁的滑槽進行滑動，將過濾板26插入過濾部件9內部兩側的固定槽內，收縮彈簧管25設置有四處，分別設置在兩滑動蓋24的內側前面和后面，再通過收縮彈簧管25的彈力將滑動蓋24向內活動，使過濾部件9內部空間進行密封，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。推薦的，連接構件11設置有十四個，連接構件11設置在攪拌倉23的底部，連接構件11與攪拌倉23固定連接，連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定，且在將兩構件進行連接或拆卸的時候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端，再通過連接管與連接構件11內...

且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置，連接構件，連接構件設置在攪拌倉的底部，連接構件與攪拌倉固定連接，連接構件能將裝置主體內部的兩個構件進行連接并固定，且在將兩構件進行連接或拆卸的時候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖；圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖；圖3為本實用新型的連接構件剖視圖；圖4為本實用新型的內部構件連接框架圖。圖中：1、裝置主體，2、支撐腿，3、電源線，4、單片機，5、控制器，6、防滑紋，7、密封閥門(z45x-16...

如上所述的擋液板結構，其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter，mm)。如上所述的擋液板結構，其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結構，其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結構，其中宣泄孔具有一***壁面，以及一第二壁面，且第二擋板具有一下表面，當宣泄孔為斜錐孔態樣時，***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結構，其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時，宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結構，其中當宣泄孔為斜錐孔態樣時，宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結構，其中...

本實用新型有關于一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備。背景技術：請參閱圖1所示，為傳統擋液板結構的整體設置示意圖，其中一實心pvc板態樣的擋液板結構a設置于一濕式蝕刻機(圖式未標示)內，主要用以阻擋一蝕刻藥液(圖式未標示)對設置于該擋液板結構a下方的基板(圖式未標示)的噴濺而造成蝕刻不均勻的現象，并且在濕式蝕刻的制程步驟中，該基板設置于二風刀b之間，當該基板設置于一輸送裝置(圖式未標示)而由該擋液板結構a的左方接受蝕刻藥液蝕刻后移動至風刀b之間，該等風刀b再噴出一氣體c到該基板的表面以...

如前文所述，必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題，因此，該復數個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小，例如：孔徑a0小于3mm，即可因毛細現象的作用，亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4，而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經由該復數個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者，請再參閱圖10至圖12所示，為本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖，以及宣泄孔的表面張力局部放大圖，其中該宣...

對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例，基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一，請參閱圖1-4，本實用新型提供技術方案：高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置，包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4，裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2，裝置主體1的后面一側底部固定連接有電源線3，裝置主體1的一側中間部位固定連接有控制器5，裝置主體1的內部底端一側固定連接有單片機4，裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14，裝...

很好的對注入量進行精確控制，提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實用新型的整體示意圖；圖2為本實用新型的a處放大示意圖；圖3為本實用新型的b處放大示意圖；圖4為本實用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖。圖中：1、制備裝置主體，2、高效攪拌裝置，3、過濾除雜裝置，4、翻折觀察板，401、觀察窗翻折滾輪，402、內嵌觀察窗，5、裝置底座，6、成品罐，7、鹽酸裝罐，8、硝酸裝罐，9、熱水流入漏斗，10、加固支架，11、防燙隔膜，12、旋轉搖勻轉盤，13、運轉電機組，14、震蕩彈簧件，15、控制面板，16、致密防腐桿，17、攪動孔，18、注入量控制容器，19、注入量觀察刻度線，20、限...

避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候，會因操作人員的手沾濕出現手滑的情況，有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行。推薦的，支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6，在制備蝕刻液的時候，需要將裝置固定的特定的位置，通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定，在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時，防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力，使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上，有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的，過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26，常規的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差，蝕刻液雜質含量多，過濾板26能將蝕刻液內部的雜...

通過滑動蓋24上的凸塊在過濾部件9內部頂端內壁的滑槽進行滑動，將過濾板26插入過濾部件9內部兩側的固定槽內，收縮彈簧管25設置有四處，分別設置在兩滑動蓋24的內側前面和后面，再通過收縮彈簧管25的彈力將滑動蓋24向內活動，使過濾部件9內部空間進行密封，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。推薦的，連接構件11設置有十四個，連接構件11設置在攪拌倉23的底部，連接構件11與攪拌倉23固定連接，連接構件11能將裝置主體1內部的兩個構件進行連接并固定，且在將兩構件進行連接或拆卸的時候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，在將兩構件的連接管放在連接構件11的兩端，再通過連接管與連接構件11內...

所述液體入口1處設有減壓閥12，所述蒸汽出口5處設有真空泵13、除霧組件3及除沫組件4，所述除霧組件3用于過濾分離器中閃蒸的蒸汽中的含銅液體，所述除沫組件4用于將經除霧組件3除霧的氣體進行除沫。含銅蝕刻液在加熱器11中進行加熱，達到閃蒸要求的溫度，輸送至分離器，通過減壓閥12減壓，真空泵13對分離器內抽氣，使分離器內處于低壓狀態，含銅蝕刻液在分離器內發生閃蒸，閃蒸產生大量蒸汽，蒸汽中攜帶著大小不等的液滴，大液滴中含有銅，通過除霧組件3和除沫組件4對蒸汽進行分離過濾，也可以防止大液滴從蒸汽出口5飛出，減少產品損失。在一個實施例中，如圖1所示，所述除霧組件3為設有多個平行且曲折的通道的折流...

使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內部形成一個密閉的空間，避免環境外部的雜質進入儲罐內，有效的提高了裝置使用的密封性；緊接著，將磷酸與醋酸在個攪拌倉23中充分攪拌混合均勻，然后在第二個攪拌倉23中與硝酸充分攪拌混合均勻后，再進入配料罐中混合，將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個攪拌倉23混合后再進入第四個攪拌倉23中，與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個攪拌倉23中混合均勻，然后過濾后封裝，先檢查過濾板26進行更換或安裝，過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26，常規的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差，蝕刻液雜質含量多，過濾板26能將蝕刻...

對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例，基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一，請參閱圖1-4，本實用新型提供技術方案：高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置，包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4，裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2，裝置主體1的后面一側底部固定連接有電源線3，裝置主體1的一側中間部位固定連接有控制器5，裝置主體1的內部底端一側固定連接有單片機4，裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14，裝...

該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等，且該上孔徑a1小于該下孔徑a2，或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮，以維持毛細現象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時，該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動，并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示)，除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現象，亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸...

該擋液板結構10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12，以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13，其主要特征在于：該第二擋板12具有復數個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設置，且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設置，以使該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13圍設成一凹槽的態樣，在一實施例中，該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形，其中該第二擋板12的長度h介于10cm至15cm之間，而該等開設于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列的態樣，且該宣...

一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法技術領域1.本技術涉及化學蝕刻技術領域，具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。背景技術：2.目前，電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜，以便后續給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中，對于多晶ito(p-ito)材料，所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低，但其蝕刻速度快，蝕刻的角度難以控制，且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術實現要素：3.有鑒于此，為克服目前存在的技術難題，本技術提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應用方法。...

圖7：本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構運作局部放大圖。圖8：本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖9：本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10：本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖11：本實用新型蝕刻設備其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖。圖12：本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13：本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明：傳統擋液板結構a擋液板結構b風刀c氣體本實用新型1蝕刻設備10擋液板結構11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211**...

該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等，且該上孔徑a1小于該下孔徑a2，或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮，以維持毛細現象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題。當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時，該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數個宣泄孔121流動，并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示)，除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現象，亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸...

以及一設置于基板下方的第二風刀，其中***風刀與第二風刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設備，其中蝕刻設備可進一步設置有一噴灑裝置，噴灑裝置相對于風刀裝置一端而設置于擋液板結構的另一端部。如上所述的蝕刻設備，其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設備，其中擋液板結構與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設備，其中滾輪呈順時針方向轉動，并帶動基板由噴灑裝置下端部朝向風刀裝置的***風刀下端部的方向移動。如上所述的蝕刻設備，其中氣體遠離***風刀與第二風刀的方向分別與基板的法線方向夾設有一第三夾角。如上所述的蝕刻設備，其中第三夾角介于20度至35度之間。再者，...