泄漏應急處理：泄漏：迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防酸堿工作服。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源，防止進入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄露：用砂土、干燥石灰或蘇打灰混合。也可用大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統。大量泄露：構筑圍堤或挖坑收容；用泵轉移至槽車或專業收集器內，回收或運至廢物處理場所處置。滅火方法：燃燒性：不燃。滅火劑：霧狀水、泡沫。滅火注意事項：消防人員必須佩戴氧氣呼吸器、穿全身防護服。食入：1、若患者即將喪失意識、已經失去意識或痙攣，勿經口喂食任何東西。2、用冷水徹底漱口。3、切勿催吐。4、讓患者喝下240-300mL的10%葡萄糖酸鈣溶液，以稀釋胃中的物質。5、若患者自發性嘔吐，讓患者身體向前以避免吸入嘔吐物。6、 反復給患者喝水。7、送醫。氫氟酸儲存或使用時必須禁止吸煙。北京無水氫氟酸工廠

目前國內外制備電子級氫氟酸的常用提純技術有精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、減壓蒸餾、氣體吸收等技術，這些提純技術各有特性，各有所長。如亞沸蒸餾技術只能用于制備量少的產品，氣體吸收技術可以用于大規模的生產。另外，由于氫氟酸的強腐蝕性，采用蒸餾工藝溫度較高時腐蝕會更嚴重，因此所使用的蒸餾設備一般需用鉑、金、銀等貴金屬或聚四氟乙烯等抗腐蝕性能力較強的材料來制造。電子級氫氟酸生產裝置設計與工藝流程布置密切相關，垂直流向布置，原料( 無水氫氟酸和高純水) 與中間產物可以依靠重力自上而下的流動，高純氫氟酸的制備在中部，產品過濾、灌裝及貯存在底層。此布置可減少泵輸送，節省能耗，降低生產成本，同時可避免泵對產品的二次污染。55%氫氟酸制造廠氫氟酸是一種極其具有危險性的化學物質。

國內生產的氟塑料，往往摻入碳酸鈣、二氧化硅、滑石粉等材料，這些物質對氟化氫生產工藝帶來新的污染。還有就是塑料表面的光滑整潔度，也影響產品的質量，這些往往是我國材料生產和加工的薄弱環節。再有，國外能夠生產噸級方桶和儲罐，方便儲運氫氟酸，而國內只能生產幾十升的容器。此外，高純氟化氫所用的分析測試儀器往往很貴，一般生產車間難以承擔。同時，制備過程中的原料質量、人為因素、膜過濾、分析測試和灌裝等環節都會影響高純氟化氫的純度。因此要想提高我國高純氟化氫的生產水平和質量，要求全產業鏈的提升，而不是每一個生產廠自己努力就能解決的問題。

電子級氫氟酸的生產壁壘在于對金屬離子含量的高標準。半導體中的金屬離 子雜質會影響半導體中少子的壽命、表面的導電性、門氧化物的完整性和穩定性 等參數，且金屬離子雜質在高溫下或電場下會向半導體本體擴散或在表面擴大分 布，導致半導體性能下降，因此氫氟酸對其中的金屬離子含量有比較嚴格的要求， 且適用的晶圓半徑越大，制程越好，對金屬離子含量的要求越高。半導體用的氫 氟酸所有單項金屬雜質的質量分數≤0.1μg/L，對應 SEMI 為 G4 以上等級的氫氟 酸，對應國內行業標準則是 UP-SS 及以上等級的氫氟酸。對于現在國際上主流的 12 寸晶圓，其制造過程中需要金屬離子含量低于 0.0001μg/L，對應 SEMI G5 或者 UP-SSS 標準。氫氟酸不應該與硝酸、過氧化氫等化學物質混合。

即使我國克服了所有困難生產出符合要求的高純氟化氫，想替代日本公司也是很難的，因為芯片生產企業需要重新調試生產工藝，以便測試新原料對產品生產的影響。據估算調試工藝的時限大概是兩個月的時間。一般的芯片企業不被逼到一定程度，不會下定決心更換原料的。半導體生產過程中所要用到的氫氟酸并不是普通的氫氟酸，而是超高精純的電子級氫氟酸。由于普通工業級氫氟酸含有大量雜質，倘若用來生產半導體，基本上只能生產出廢品來。因為芯片生產容不得過多的雜質，普通工業級氫氟酸含有的雜質對芯片生產影響十分大。那么問題來了，半導體生產中所需的高純氟化氫要求多純呢？據了解，日本生產的較高純度的氫氟酸純度為99.9%，這個純度的高純氟化氫，在目前較先進的芯片生產工藝中都能夠完全適配，這也是韓國極度依賴從日本進口高純氟化氫的重要原因了。使用氫氟酸時必須保持設備和環境清潔和干燥。北京無水氫氟酸工廠

使用氫氟酸處理的物品應當存放在液體密封容器中。北京無水氫氟酸工廠

嚴格來說，提純的工藝流程也不是很復雜。主要是利用氟化氫的揮發性以及不同物質沸點不同，采用精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、減壓蒸餾、氣體吸收等技術對氟化氫進行純化。在此過程中，要把三價砷的氟化物氧化成五價，以免它跟著氟化氫一起蒸餾出來。然后用高純水溶解氟化氫，再過超濾膜過濾雜質，之后進行檢驗和無塵灌裝。我們國家相關的純化工藝技術有很多。隨著我國化學工藝研究水平的提高，一套合格的生產工藝設計并不難，難就難在生產廠房和設備上了。先說生產廠房，雖說我國已經發展成為基建強國，但對于超凈高純氫氟酸廠房這樣的特殊基建還沒有成熟經驗。這樣的廠房要求與外界嚴密隔離，要設置多重的過濾系統，爭取不讓任何灰塵進入生產區。廠房不只要有雙層的門窗和多重的通風過濾系統，而且要精打細算到每個工作區都用小的隔斷隔開，設置單獨的過濾系統，保證外來的“新鮮空氣”，經過多重過濾和殺細菌以后達到萬級以上的凈化度，灌裝車間甚至要求達到百級以上。北京無水氫氟酸工廠

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