MEMS即微機電系統(MicroelectroMechanicalSystems),是MEMS傳感器在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展,已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術,具有廣闊的應用前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。觸覺傳感器的適用范圍將拓寬,在人機交互系統、智能機器人、移動醫療等領域具有巨大的應用前景。浙江溫度傳感器
對于位移傳感器參數指標主要有以下幾點:1、靈敏度方面的技術指標:對于一個儀器來說,一般都是靈敏度越高越好的,因為越靈敏,對周圍環境發生的加速度的變化就越容易感受到,加速度變化大,很自然地,輸出的電壓的變化相應地也變大,這樣測量就比較容易方便,而測量出來的數據也會比較精確的。2、零點溫漂:環境溫度的變化引起的零點平衡變化。一般以溫度每變化10℃時,引起的零點平衡變化量對額定輸出的百分比來表示,即傳感器不受壓時的輸入由溫度變更引起的漂移。3、帶寬方面的技術指標:帶寬指的的是傳感器可以測量的有效的頻帶,比如,一個傳感器有上百HZ帶寬的就可以測量振動了,一個具有五十HZ帶寬的傳感器就可以有效測量傾角了。4、輸出方式的技術指標:數字輸出和模擬輸出兩種方式。數字式傳感器向儀表輸入的是數字信號,如數量、重量等;模擬式傳感器向儀表輸入的是模擬量信號,如電壓、電流等。5、量程方面的技術指標:測量不一樣的事物的運動所需要的量程都是不一樣的,要根據實際情況來衡量。6、極限過載:傳感器能承受的不使其喪失工作能力的最大負荷。意思是當工作超過此值時,傳感器將會受到長久損壞。遼寧負荷傳感器凡是利用磁性質、磁通量變化來制作的傳感器叫磁性傳感器。
負溫度系數熱敏電阻的工作原理負溫度系數熱敏電阻是以氧化錳、氧化鈷、氧化鎳、氧化銅和氧化鋁等金屬氧化物為主要原料,采用陶瓷工藝制造而成。這些金屬氧化物材料都具有半導體性質,完全類似于鍺、硅晶體材料,體內的載流子(電子和空穴)數目少,電阻較高;溫度升高,體內載流子數目增加,自然電阻值降低。負溫度系數熱敏電阻類型很多,使用區分低溫(-60~300℃)、中溫(300~600℃)、高溫(>600℃)三種,有靈敏度高、穩定性好、響應快、壽命長、價格低等優點,廣泛應用于需要定點測溫的溫度自動控制電路,如冰箱、空調、溫室等的溫控系統。熱敏電阻與簡單的放大電路結合,就可檢測千分之一度的溫度變化,所以和電子儀表組成測溫計,能完成高精度的溫度測量。普通用途熱敏電阻工作溫度為-55℃~+315℃,特殊低溫熱敏電阻的工作溫度低于-55℃,可達-273℃。
傳感器(Sensor)是一種常見的卻又很重要的器件,它是感受規定的被測量的各種量并按一定規律將其轉換為有用信號的器件或裝置。對于傳感器來說,按照輸入的狀態,輸入可以分成靜態量和動態量。我們可以根據在各個值的穩定狀態下,輸出量和輸入量的關系得到傳感器的靜態特性。傳感器的靜態特性的主要指標有線性度、遲滯、重復性、靈敏度和準確度等。傳感器的動態特性則指的是對于輸入量隨著時間變化的響應特性。動態特性通常采用傳遞函數等自動控制的模型來描述。通常,傳感器接收到的信號都有微弱的低頻信號,外界的干擾有的時候的幅度能夠超過被測量的信號,因此消除串入的噪聲就成為了一項關鍵的傳感器技術。汽車上常用傳感器的作用與識別。
傳感器分類按技術分類超聲波傳感器、溫度傳感器、濕度傳感器、氣體傳感器、氣體報警器、壓力傳感器、加速度傳感器、紫外線傳感器、磁敏傳感器、磁阻傳感器、圖像傳感器、電量傳感器、位移傳感器。按應用分類壓力傳感器、溫濕度傳感器、溫度傳感器、流量傳感器、液位傳感器、超聲波傳感器、浸水傳感器、照度傳感器、差壓變送器、加速度傳感器、位移傳感器、稱重傳感器。電子式傳感器有IR紅外線近接、測距循線循跡Sensor超音波距離檢測雷射區域距離測量儀室內定位系統碰撞傳感器緊急、保護帶狀開關可撓曲傳感器、壓力傳感器、溫濕度傳感器、表面溫度量測器、數位電子羅盤(方向)GPS衛星定位模組計數&PWM產生器、陀螺儀與加速度計傾斜儀與定向計Piezo壓電震動傳感器、RFIDReader模組PIR物體移動檢知TSL230光To頻率霍爾效應傳感器、氣體偵測器。電流測量,可能是TMR傳感器主要的應用方向了。寧波拉力傳感器
磁旋轉傳感器在家用電器中也有大的應用潛力。浙江溫度傳感器
傳感器由敏感元器件(感知元件)和轉換器件兩部分組成,有的半導體敏感元器件可以直接輸出電信號,本身就構成傳感器。敏感元器件品種繁多,就其感知外界信息的原理來講,可分為①物理類,基于力、熱、光、電、磁和聲等物理效應。②化學類,基于化學反應的原理。③生物類,基于酶、抗體、和等分子識別功能。通常據其基本感知功能可分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等幾大類(還有人曾將傳感器分46類)。下面對常用的熱敏、光敏、氣敏、力敏和磁敏傳感器及其敏感元件介紹如下。浙江溫度傳感器
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