氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦檢儀用于調節閥的氣路管道進行檢漏。安徽模塊式氦質譜檢漏儀特點

氦質譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更好的監控，特別是在一些真空設備的質量檢驗之中，應用氦質譜檢漏儀已經成為了一種常見的事項。氦質譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設備的檢測準度，所以選擇合適的氦質譜檢漏儀很重要。氦質譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點不固定，需要經常搬運氦質譜檢漏儀時，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮氦質譜檢漏儀的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。安徽智能氦質譜檢漏儀注意事項氦質譜檢漏儀的保養項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優點，達到了細檢漏的目的。

氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發現極微量的氦氣;②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷任何設備;⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。氦質譜檢漏技術用于火力發電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優點,特別是可以在正常運行中準確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經濟損失。掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。

在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜，內部有很多管道和傳動機構，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數百立方米，連接管道和內部管道的總長度可達幾公里，焊縫、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數十公里，必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏，所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？南京分體式氦質譜檢漏儀哪個牌子好

有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果。安徽模塊式氦質譜檢漏儀特點

氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發生化學反應；(4)分子直徑和質量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環境下保持氣體狀態，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜，或漏率極小時，可針對重點部位用塑料袋套住，然后向塑料袋內部充入氦氣，實現對特定重點部位的檢漏。安徽模塊式氦質譜檢漏儀特點

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