氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統，儀器的真空系統提供質譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統有較大的差別。真空系統一般包括：1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。紹興無損氦質譜檢漏儀哪家好

氦質譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題？1、氦質譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經修補后再去找小漏孔。4、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時，應先把一個點蓋住，再對另一點進行噴氦。5、當噴在某一點時，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩定表示鄰近其它地方有很大漏孔。杭州自動氦質譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。

氦檢儀常用的幾種檢漏方法有：氦質譜檢漏方法較多，根據被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點型，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中，應根據檢驗目的選擇較合理的方法，并根據被檢件的具體情況靈活運用各種檢漏方法。測定漏點型氦質譜檢漏方法。確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛星、導彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。

影響氦質譜檢漏儀檢測精度的因素：1、受到檢測壓力的影響，泄漏率對測試壓力的依賴性，對不同的測量條件是不同的。一般而言，對于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時，試驗壓力對泄漏率的影響較大，而對于多孔性較低時則影響較小。另外，隨測試壓力的增高，還會帶來諸如溫度影響，所需穩定時間加長等一系列問題。因此，建議對特定的工件可采用在一定壓力范圍內進行泄漏檢測，然后選擇一個滿足測試要求的較低的壓力確定為它的測試壓力。2、受到檢測容積的影響，在一個特定的泄漏率值里，如果檢測容積增大的話，那么相應的壓力降低的速度就越低，因而測量時間需要相應增加。在一些特定的條件下，如果不想方設法減少測量容積，那么可能會無法達到測量需要的精確度和靈敏度。氦檢儀能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。

氦檢儀機械泵故障及處理：1、機械泵不動作，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。氦檢儀質譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態后，若燈絲仍無法發射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質譜室出現故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位，交由維修處理。氦檢儀為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。江蘇小型氦質譜檢漏儀哪家好

氦質譜檢漏儀的主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據。紹興無損氦質譜檢漏儀哪家好

氦檢儀分子泵出現故障如何快速定位維修？1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0，即為分子泵不工作?？赡苁乔凹墘毫^高(分子泵啟動壓力為200Pa)導致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現了問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認機械泵和分子泵處于正常工作狀態后，如果燈絲仍不能發射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路，請更換燈絲。如果沒有，請檢查端子是否與其他連接器連接，以消除短路。紹興無損氦質譜檢漏儀哪家好

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