KASHIYAMA防腐蝕干式真空泵SDE603TX設備簡介（包括對功能的基本介紹）

       SDE603TX 立式螺桿真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排氣速度10000L/min，立式螺桿設計排氣線路短，不容易發生卡死。轉子材質為鎳合金，防腐蝕能力優越,使用時內部溫度高，適用于比較苛刻的工藝制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系統組成：

1) 羅茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 機械增壓泵(KMB603) 1  

3) 電源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 連接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技術參數&配置清單

一、 技術參數：

式樣：SDE60N20

MAX排氣速度（L/min）：100000

達到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V，380-480V

消費電力（KW）：3.7KW

外型尺寸WHL [mm]：515×950×1080

二、 配置清單：

設備原產地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、設備運轉時，旋葉與旋葉、旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，保證設備長期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷卻水，從而節省空間。

3、采用氣鎮（Gas Ballast）結構，可以排出所吸取的水蒸氣。

4、若只抽取空氣與氮氣的情況下，只需三年維護一次，延長了設備的使用壽命，降低真空泵的使用成本。

北京SDL12E50干式真空泵中國授權代理商干式真空泵的系列有：多級羅茨干式真空泵、渦旋干式真空泵、螺桿干式真空泵、爪式干式真空泵等。

       評價爆裂有兩個指標：可燃物質的閃點及燃點。因為螺桿干式真空泵中的兩個螺桿在泵體內沒有摩擦，所以不會產生電火花，就沒有了火源，另外其通過自身的冷卻系統降低泵內溫度使被抽物質的燃點難以達到，從而杜絕爆裂！泵內既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環水回路之間的密封，因此可以抽除有害介質。絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的,而此泵每個軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環境及排氣口污染。

干式真空泵的應用范圍比較廣，主要有以下幾個方面：

1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

樫山工業Neodry36E小型風冷干式真空泵成為等離子清洗機制造商的新寵。

日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技術參數&配置清單

一、 技術參數：

式樣：MU1218X

MAX排氣速度（L/min）：20000

達到壓力（Pa）：0.5

電源電壓：3相  AC200-220V

消費電力（KW）：O.9KW

外型尺寸WHL [mm]：870×380×751

質量【kg】：270kg

二、 配置清單：

設備原產地：日本

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       無油干式真空泵有著空前的節能與環保優勢，更表未來泵業發展的一種趨勢，而眾多的干式無油真空泵有著不同真空參數和不同的功能區別，如何根據自身工藝特點選擇那種干式無油真空泵的型號，就首先了解各種不同類型干式無油真空泵的選型知識。這樣做出的選擇才能夠盡可能采購到理想的真空泵和降低采購成本，從而獲得一個穩定的真空需求。給企業的未來帶來很高的經濟效益。無油干式真空泵的用戶大部分是由原先的油封真空泵、水環真空泵用戶轉換而來。那為什么越來越多的企業客戶要放棄原先的油封真空泵或水環真空泵，而選擇干式無油真空泵呢？成都NEODRY 30E干式真空泵銷售電話

浚和（上海）儀器有限公司是一家供應國內外先進儀器和設備的專業供應商和服務商，致力于為客戶提供專業的定制化解決方案。多年來，持續為醫藥、化工、高校、科研單位、檢測院等多個行業提供先進的產品和專業的服務。

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公司主要經營產品包括：等離子清洗機、真空泵、噴霧干燥器、數字PCR、高壓滅菌鍋、培養箱、切片機、水分測定儀、激光粒度儀、光譜儀、溫濕度記錄儀等，目前主要合作品牌有：日本雅馬拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、廣州永諾 、日本KEM等。同時，公司還提供專業的技術服務，如設備的維護、驗證等。

浚和儀器將始終以行業特點為立足點，以客戶需求為導向，不斷地提高自身專業技術能力，不停地完善客戶服務質量，在發展中保持創新的精神，力求與客戶共同進步，為行業的發展作出不懈的努力。