真空泵的選擇,1、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。2、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。干式螺桿真空泵由于其優越的性能,已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選擇真空獲得設備。長春膜片式真空泵
真空泵如何安裝?⑴真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養。⑵真空泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運轉平穩,振動小。⑶真空泵與系統的連接管道應密封可靠,對小型真空泵可采用金屬管路連接密封墊,采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應消除管道中焊渣,嚴禁焊渣進入真空泵腔。)⑷在連接管路中,用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查真空泵的極限壓力。⑸按電動機標牌規定連接電源,并接地線和安裝合適規格的熔斷器及熱繼電器。⑹真空泵通電試運轉時,須取下電機皮帶,確認真空泵轉向符合規定方向方可投入使用,以防真空泵反轉噴油。(轉向按防護罩指示方向),⑺對于有冷卻水的真空泵,按規定接通冷卻水。⑻如真空泵口安裝電磁閥時,閥與真空泵應同時動作。⑼當真空泵排出氣體影響工作環境時,可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。南昌環形真空泵選擇真空泵時要檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。
如何選擇真空泵,1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
真空泵的正確使用及注意事項,1、 抽真空作業,將需要抽真空的設備的抽氣套管緊密接于本機抽氣嘴上,檢查循環水開關應關閉,接通電源,打開電源開關,即可開始抽真空作業,通過與抽氣嘴對應的真空表可觀察真空度。2、 當本機需長時間連續作業時,水箱內的水溫將會升高,影響真空度,此時,可將放水軟管與水源(自來水)接通,溢水嘴作排水出口,適當控制自來水流量,即可保持水箱內水溫不升使真空度穩定。3、 當需要為反應裝置提供冷卻循環水時,將需要冷卻的裝置的進水、出水管分別接到本機后部的循環水出水嘴、進水嘴上、轉動循環水開關止ON位置,即可實現循環冷卻水供應。在結冰的環境中使用時,停泵后將泵內工作水排放徹底,以防結冰凍裂真空泵。
真空泵使用方法,使用真空泵的方法和注意事項:首先打開包裝,將泵體與電機之間的聯軸器盡量朝箭頭方向旋轉;再其次,打開真空泵油箱上的注油塞,將真空泵油倒入泵內。油位應在機油指示器可見部分的一半到三分之二之間。如果機油油位過高,會發生燃油噴射。如果油位過低,會影響真空度,溫度升高,噪音增大,影響泵的性能。1號真空泵油可用作泵油;第三,打開進排氣口的黑色橡膠蓋,從進氣口加入少量(小勺)的真空泵油,以便于啟動,連接真空泵和真空系統(真空泵的進氣口必須低于儀器的出氣口被抽氣時),儀表與真空泵連接的管道不宜過長,且連接管的直徑不應小于真空泵進氣口的內徑會影響抽氣速度,但必須小于進氣口的外徑,否則會影響密封程度。泵送量不能太大,一般會選擇泵速在秒15-20倍。在活動接頭中,建議涂上真空潤滑脂,以增強其密封性。真空泵的抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。常州循環真空泵
爪形真空泵為多級串聯結構,每級泵均應嚴格控制端面間隙,即四級泵需嚴格控制8個端面間隙。長春膜片式真空泵
真空泵使用要點:1.檢查確定此泵安全接地。2.必須安裝電機保護開關。3.排氣口處要接排氣管,以防灰塵進入泵內。4.不要刮碰進氣口與排氣口法蘭,以免損壞法蘭口,導致真空度上不去。5不要繼續使用已經損壞的泵,否則會有受傷、觸電甚至被抽系統損壞等危險。6.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環境中工作,否則會有火災等危險。7.進氣溫度必須低于50℃,否則在被抽真空室與泵進氣口之間必須加冷阱,降溫至低于50℃。8.抽含有水蒸汽的氣體時,要打開氣鎮閥抽氣,被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限,將會縮短氣鎮閥壽命。9.不要由一兩個人移動此泵。此由專業人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護和檢查,否則會有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。長春膜片式真空泵
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