油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故又稱氣鎮式真空泵。滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而泵腔分成兩個可變容積。滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學反應、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。優點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價格相對高一點。真空泵組周圍應留有充足的空地，便于日常檢查維修保養。肇慶葉片式真空泵

真空泵的選用：1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。沈陽進口微型真空泵專業生產選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。

無油真空泵具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。無油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應用范圍非常普遍真空的設備。無油真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境。因此在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。

真空泵的機械選擇要求有什么？1、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。干式無油螺桿真空泵是一種干式作業、無觸摸、等螺距的螺桿型真空泵。

循環水真空泵維護保養：1、經常保持水質清潔是設備能長期穩定工作的關鍵。必須定期換 水、清洗水箱。不能抽粉塵和固體物質。2、某些腐蝕性氣體可導致水箱內水質變差，產生氣泡，影響真空 度，故應注意不斷循環換水。3、對特殊強腐蝕性氣體，應認真判斷是否與本設備所使用材料有 反應，并謹慎使用。4、真空度上不去應首先判斷是否被抽容器泄漏或皮管接動松動。 如屬泵的問題，則檢查進水口或各氣路是否堵塞或松動漏氣。電機不轉，應檢查電源或保險絲。分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。連云港水循環真空泵

無油干式真空泵的用戶大部分是由原先的油封真空泵、水環真空泵用戶轉換而來。肇慶葉片式真空泵

真空泵的性能參數：真空泵的前級壓強單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。真空泵口較大前級壓強單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。真空泵的較大工作壓強單位是Pa，它是指對應較大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指 泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。肇慶葉片式真空泵