1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。當產品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。浙江溫濕度潔凈室檢測哪家好

近年來，國內外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發生，造成了較大的經濟損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護系統失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設計中也很重要。從工藝性質來看，潔凈廠房內一般從事精密視覺工作，需要高照度高質量照明。為了獲得良好和穩定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩定性。........壓差潔凈室檢測服務至上管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區）內工藝設備發熱相差懸殊；5凈化空調系統與一般空調系統，6系統風量過大的凈化空調系統。

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優先方法。潔凈恢復率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數刻度；橫座標表示濃度，為線性刻度)。根據潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區應避免渦流區。

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室（區）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道，3潔凈室(區)不宜設窗臺；4當地面采用活動地板時，活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區）的墻板和頂棚，宜采用輕質壁板構造。為了達到規定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。浙江電子廠房環境潔凈室檢測服務商

應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。浙江溫濕度潔凈室檢測哪家好

9.5.4潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《和火災危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。9.5.5防靜電接地系統應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環。在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則，其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時，各種功能接地系統的接地體必須遠離防雷接地系統的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規范》GB50057的有關規定。浙江溫濕度潔凈室檢測哪家好