10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定,并應符合下列規定:1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計人必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。無塵室的存在對于許多前沿科技的發展起著至關重要的作用。上海過濾器無塵室檢測規范性強

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。浙江溫濕度無塵室檢測分析無塵室極主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。

15.1.1承擔潔凈室施工的單位應按本規范的相關規定，建立質量管理體系。15.1.2潔凈室的各級施工人員應有必要的潔凈室施工經歷，明確的分工和職責。15.1.3特殊工種作業人員應持證上崗。15.1.4施工單位應編制施工組織設計，制定具體工程的施工程序，并按程序對施工全過程實行質量控制。15.1.5施工過程中，不得違反設計文件擅自改動系統、參數、設備選型、配套設施和主要使用功能。當修改設計時，應經原設計單位確認、簽字，并得到建設單位的同意，在通知監理方之后執行。15.1.6施工安裝的全過程、竣工設施的詳細情況、所有操作和維護程序，都應采用文件形式確認。為施工安裝的運作提供文字依據，為責任和獎懲提供明確依據，為質量改進提供原始依據。15.1.7應加強施工現場的防火工作，嚴格執行防火安全規定，施工隊伍進人現場應建立防火組織，責任到人。15.1.8應做好安全技術工作的書面交底，并認真做好記錄，加強防范意識。

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速儀器的小刻度或讀數不應大于0.02m/s，一般可用熱球式風速儀，需要測出分速度時，應采用超聲波三維風速計。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點間距不應大于1m，一般取0.3m。測點數應不少于20個，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內安裝過濾器的風口可采用套管法、風量罩法或風管法測定風量，為測定回風口或新風口風量，也可用風口法。空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調凈化系統應已連續運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數穩定后記錄。測完室內溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力。浙江溫濕度無塵室檢測周期

單向流和非單向流組合的氣流。上海過濾器無塵室檢測規范性強

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上；現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。上海過濾器無塵室檢測規范性強