11.4.1生物安全柜內如有氣管和水管，應同時安裝完畢。11.4.2當多臺生物安全柜的排風支管與豎井內封閉的排風立管相連接時，支管應采用防回流裝置，并應從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風管道之前，應對高效過濾器安裝邊框及整個濾芯面掃描檢漏。當為零泄漏排風裝置時，應對濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關的手動調節閥定風量系統中，當多臺安全柜排風并聯時，整個系統在安全柜安裝后應重新平衡，采用壓力無關的風量平衡閥時可不做此項平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應進行下列現場檢驗.無塵室在需要對空氣中的微粒、微生物和污染物進行控制的行業中都會有廣泛的應用。上海半導體凈化車間無塵室檢測報告

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調凈化系統應已連續運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數穩定后記錄。測完室內溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。浙江靜電無塵室檢測認真負責無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。

6.3.1管道安裝前應進行以下準備工作：1配管下料時應采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應與管軸線垂直，切口表面應平整、無裂紋，應去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應按相關規定方法進行脫脂，脫脂應在遠離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環境保護工作。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規定。6.3.2潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應減少凹凸面，2當采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。隨著科技的迅猛發展，無塵室已成為現代工業、醫療、電子、航空航天等領域中不可或缺的關鍵環境控制手段。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員人口、物料入口和設備出入口,并應在各自的人口處設置相應的凈化設施。5.2.3在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。江蘇半導體凈化車間無塵室檢測第三方檢測機構

無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數量。上海半導體凈化車間無塵室檢測報告

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區）的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。上海半導體凈化車間無塵室檢測報告