7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時,宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求,經技術經濟比較,采用運行經濟、節約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統新風的室外吸入口位置,應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風,應集中處理。一般情況下,凈化空調系統的能耗比一般空調系統的能耗大的多。浙江手術室潔凈室檢測分析
5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設計,應符合下列要求:1在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;2吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位;3單人空氣吹淋室,應按比較大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;4空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;5空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室(區),宜設氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級,宜由外至內逐步潔凈,室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級;當設有潔凈工作服洗滌室時,洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。安徽純化水檢測潔凈室檢測標準應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
1近年來,在大規模集成電路生產(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風,實際上,潔凈生產層與上技術夾層是相通的;而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層,在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等,潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層,實際上,下技術夾層與潔凈生產層是相通的,所以可以認為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層,潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。
8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定,宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時,應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求,設置緊急淋浴器和洗眼器,其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,應符合下列要求:1給水系統的管材和附件的選用,應滿足生產工藝和系統工作參數的要求;2埋地管道應耐腐蝕,并應具有承受相應地面荷載的能力;3生產設備循環冷卻水給水和回水管道,應按生產工藝和水質要求,采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等,不宜采用焊接鋼管;4閥門及附件應采用與管材相同的材質。凈化空調系統設計應合理利用回風。
C.1.3已裝過濾系統其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目,對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調試過程中承建商的檢測已獲得業主認可,在緊接著的潔凈度項目檢測過程中,可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時,宜將過濾系統安裝調試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統檢漏合并;過濾系統檢漏費時、費人力,整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數器(DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質量濃度,而離散粒子計數器是測量空氣中懸浮粒子的數量和粒徑,2種方法獲得的結果不能進行直接比較。在滿足生產工藝的條件下,管道系統應盡量短。北京電子廠房環境潔凈室檢測
為了達到規定的潔凈度級別,有效地控制微粒的污染。浙江手術室潔凈室檢測分析
9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇,應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求,并結合系統規模、材料及設備供應等情況,經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內;潔凈室(區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室(區)墻壁、樓板、頂棚的純水管道應設套管,套管與管道之間應采取密封措施。9.1.4潔凈室(區)內純水管道的保溫材料,不得產生污染物,外表面應平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。浙江手術室潔凈室檢測分析