9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調速裝置后，送風量的調節變得十分容易，送風壓力穩定。同時潔凈室凈化空調系統的送風機采用變頻調速后節能十分***。9.4.3為避免凈化空調系統因風機停轉無風或超溫時，電加熱器繼續送電加熱會造成設備損壞甚至發生火災，本條強制性規定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術好

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區）內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。北京實驗室環境潔凈室檢測目的為了達到規定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。

C.1.3已裝過濾系統其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目，對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調試過程中承建商的檢測已獲得業主認可，在緊接著的潔凈度項目檢測過程中，可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時，宜將過濾系統安裝調試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統檢漏合并；過濾系統檢漏費時、費人力，整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數器（DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質量濃度，而離散粒子計數器是測量空氣中懸浮粒子的數量和粒徑，2種方法獲得的結果不能進行直接比較。

5.1.1隨著科學技術的發展，電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速，以集成電路為**的微電子產品尤為***，集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產；微型計算機的迅速發展，使各種元器件生產發展十分迅速。因此，電子工業潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發展的需要，從潔凈廠房的規劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性，以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。一般情況下，凈化空調系統的能耗比一般空調系統的能耗大的多。

C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合，上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規定的掃描速度，移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值：當讀數大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時，就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應停留持續測量一段時間，光度計獲得比較大讀數時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。手術室潔凈室檢測服務

負壓潔凈室聯鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術好

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術好