11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上；現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。安徽實驗室無塵室檢測服務至上

無塵室凈化關鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度，使商品能在一個優良之自然環境室內空間中生產制造、生產制造，此室內空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構一般可分成三種：不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材，頂端及能用不銹鋼板、噴漆冷塑鋼扣板、抗靜電網格圖簾及亞克力有機玻璃板等原材料。周邊一般全是選用抗靜電網格圖簾或者有機玻璃板，排風部用均選用FFU的清潔排風模塊。北京噪音無塵室檢測方法由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板，或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連接處應安裝連續的導電襯墊。施工直接安在圍護結構地面上的底板時，底板與地面之間應鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層。安裝過程中不得在底板上灑水。13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和頂板宜選用2mm厚鋼板，底板宜選用2.5mm~3mm厚鋼板。選用銅板、鋁板或不銹鋼板時，均宜選用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接時嚴禁燒穿屏蔽壁板，不得使壁板變形。當在屏蔽壁板表面粘貼鐵氧體等吸波材料時，必須把表面焊縫打磨平整。

空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優點：構造簡單、系統建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。室內空氣的流動形態和分布。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調凈化系統應已連續運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數穩定后記錄。測完室內溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。無塵室的設計充分考慮了環境污染的來源。安徽過濾器無塵室檢測標準

空間內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。可以是開放式或封閉式。安徽實驗室無塵室檢測服務至上

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB50052的有關規定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。12.1.3電子產品生產用主要工藝設備，應由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調系統（含制冷機），應由變電所專線供電。安徽實驗室無塵室檢測服務至上