16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規定：在風系統內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規定外，還應在系統和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統正常運行、室內處于動態條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規定。16.4.24當需要測定分子態污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。無塵室的重要性遠超我們的想象。浙江國內無塵室檢測范圍

無塵室凈化車間管理規范1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內設備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止潔凈室內塵粒，微生物的產生，滯留，繁殖等3、嚴格各類設備，設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備，設施按要求正常運轉，包括凈化系統，各類水，氣，電系統。上海半導體凈化車間無塵室檢測認真負責無塵室創造了一個幾乎不含微塵和有害物質的特殊空間，為高精密制造、敏感實驗和科研工作提供了理想的環境。

空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優點：構造簡單、系統建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員人口、物料入口和設備出入口,并應在各自的人口處設置相應的凈化設施。5.2.3在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產。

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區）的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數量。上海照度無塵室檢測報告

無塵室在需要對空氣中的微粒、微生物和污染物進行控制的行業中都會有廣泛的應用。浙江國內無塵室檢測范圍

11. 4.1 生物安全柜內如有氣管和水管，應同時安裝完畢。11.4.2當多臺生物安全柜的排風支管與豎井內封閉的排風立管相連接時，支管應采用防回流裝置，并應從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風管道之前，應對高效過濾器安裝邊框及整個濾芯面掃描檢漏。當為零泄漏排風裝置時，應對濾芯面檢漏。11.4.4在采用壓力相關的手動調節閥定風量系統中，當多臺安全柜排風并聯時，整個系統在安全柜安裝后應重新平衡，采用壓力無關的風量平衡閥時可不做此項平衡。11.4.5生物安全柜安裝并檢漏之后，應進行下列現場檢驗.浙江國內無塵室檢測范圍