(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業對此已經提出迫切要求，這是今后坐標測量機發展的關鍵技術。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進展，但可在原理創新上下功夫。應該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應頻率只有10的9次方，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應探測器的不足(如果探測器的響應果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。在2000轉/分時，電動機產生270Hz的振動，反過來 以345Hz放大系統諧振。佛山激光干涉儀儀器

干涉儀技術參數：5D/6D標準型：1.線性：0.5ppm.2.測量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。     三維輪廓激光干涉儀多層厚度測量超精密和非接觸式表面分析。

光電效應分為：外光電效應和內光電效應。內光電效應是被光激發所產生的載流子（自由電子或空穴）仍在物質內部運動，使物質的電導率發生變化或產生光生伏特的現象。外光電效應是被光激發產生的電子逸出物質表面，形成真空中的電子的現象。外光電效應在光的作用下，物體內的電子逸出物體表面向外發射的現象叫做外光電效應。外光電效應的一些實驗規律a．只當照射物體的光頻率不小于某個確定值時，物體才能發出光電子，這個頻率叫做極限頻率(或叫做截止頻率)，相應的波長λ0叫做極限波長。不同物質的極限頻率和相應的極限波長 是不同的。

不同變比電流互感器。這種型號的電流互感器具有同一個鐵心和一次繞組，而二次繞組則分為兩個匝數不同、各自獨自的繞組，以滿足同一負荷電流情況下不同變比、不同準確度等級的需要，例如在同一負荷情況下，為了保證電能計量準確，要求變比較小一些（以滿足負荷電流在一次額定值的2/3左右），準確度等級高一些（如1K1.1K2為200/5.0.2級）；而用電設備的繼電保護，考慮到故障電流的保護系數較大，則要求變比較大一些，準確度等級可以稍低一點（如2K1.2K2為300/5.1級）。在測量軟件WAVE的FFT圖中，實時顯示位移數據，可快速簡便地進行頻譜分析，以識別共振頻率！

客戶經常打電話咨詢干涉儀，看到中間儀器有激光干涉儀和白光干涉儀，不知道哪一個能滿足自己的需求？雖然激光干涉儀和白光干涉儀都屬于干涉儀的類別，但兩者之間的區別可能很大！

激光干涉儀的工作原理

激光干涉儀激光束(圓偏振光)分為兩束激光(線偏振光)；

兩束激光分別通過角錐反射鏡A和角錐反射鏡B由于兩束激光頻率相同，振動方向相同，相位差恒定，反射后平行于出射光(紅線)返回，分光鏡后疊加。

測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。激光干涉儀應用于機床、電機、滑臺、模塊、自動化設備、機器人等領域。

白光干涉儀的工作原理

光源發出的光通過分光棱鏡分為兩束，一束通過測量表面反射，另一束通過參考鏡反射，兩束反射光聚集干擾，通過測量干涉條紋的變化來測量表面的三維形狀。用白光干涉儀測量三維微觀形狀。

可廣泛應用于半導體制造和封裝工藝檢測3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件等超精密加工行業和航空航天、科研機構等領域。 在測量軟件WAVE的FFT圖中，實時顯示位移數據，可快速簡便地進行頻譜分析，以識別共振頻率。廣東激光干涉儀多層厚度測量

其工作接近技術和物理的極限。佛山激光干涉儀儀器

常用的測距傳感器有超聲波測距傳感器、激光測距傳感器、紅外線測距傳感器、毫米波雷達傳感器。超聲測離傳感器，精度厘米級，量程不大，對被測物面積有要求，用于物位較多激光測中傳感器，精度豪米級，量程很大，陽光對測距有影響，用于遠距離變形監測。

1.超聲波傳感器是一種利用超聲波的特性研制而成的傳感器。超聲波是一種振動頻率高于聲波的機械波，由換能晶片在電壓的激勵下發生振動產生的，它具有波長短、繞射現象小、方向性好、等特點。

2.激光傳感器主要是利用飛行時間方法來測量距離。其工作時，先由激光二極管對準目標發射激光脈沖，經目標反射后激光向各方向散射，部分散射光返回到傳感器接收器。

3.紅外測距傳感器利用紅外信號遇到障礙物距離的不同反射的強度也不同的原理，進行障礙物遠近的檢測。

4.毫米波雷達通過發射與接收微波來感應物體的存在、運動速度、靜止距離、物體所處角度等。采用平面微帶天線技術，具有高集成化的特點。

佛山激光干涉儀儀器